صُممت منافخ AERZEN المزودة بمشغل مغلف لنقل الغازات الخاملة (تصميم HM) والغازات المتفاعلة (تصميم CM) وتستخدم في تقنية التفريغ الصناعي عالية المستوى. تتميز هذه السلسلة بمستويات مذهلة من الكفاءة والموثوقية العالية.
تقلل منفاخ المحركات المغلفة AERZEN من أعطال الضخ بشكل كبير، وهذا يزيد نسبة الإنتاجية في الإنتاج. وهذه خطورة كبيرة تجاه تحقيق الدرجة المثلى في العمليات.
منفاخ تفريغ الهواء AERZEN مزودة بمانعات تسرب حلقية مثبتة في شفاه الغلاف. وهناك ميزة هامة أخرى في مرحلة المنفاخ وهي قوة التفريغ وتبريد الهواء. تتم تغذية زيت التزليق بواسطة تشحيم البقعة. يمكن استخدام الزيت المعدني كمزلق، وكذلك زيت PFPE، وعادة ما يستخدم في تكنولوجيا أشبه الموصلات. منافخ المحركات المغلفة مزودة بمانعة تسرب مستطيلة بتجويف حلقي بين غرفة التوصيل وغرفة المحمل. بالإضافة إلى ذلك، توجد غرفة خاملة واسعة الأبعاد مركب بها قنوات مكثفات. واختياريًا، يمكن تطهير الغرفة الخاملة بمانع تسرب غاز، لتحقيق أقصى تأثير لمنع التسرب. تضمن المحركات المغلفة المدمجة إحكام سد عمود الإدارة. وبهذا يمكن الاستغناء عن صنع ممر للذراع إلى المحيط الجوي، وهذا يجعل تحقيق سرعات دوان عالية بدرجة كبيرة ممكن من الناحية العملية.
صُممت منافخ AERZEN المزودة بمشغل مغلف لنقل الغازات الخاملة (إصدار HM) والغازات المتفاعلة (إصدار CM) وتستخدم خصيصًا في تقنية التفريغ الصناعي عالية المستوى. تعمل منافخ المحركات المغلفة دائمًا بالتزامن مع مضخة التغليف*. تبدأ مضخة التغليف هذه العمل في المحيط الجوي. يتم توصيل منفاخ المحرك المغلف قياسيًا عند قوة 50 حتى 200 مليبار تقريبًا ثم تبدأ عملية الضخ. بناء على الاستخدام، تستخدم مضخات دوارة تعمل بالسوائل، أو مضخات تفريغ دوارة ذات ريشة انزلاقية، أو مضخات تفريغ لولبية أو منافخ لتقوم بوظيفة مضخة التعبئة. عند وجود محولات التردد AERZEN ومجموعات المعاملات الخاصة، فعندها يكون التشغيل باستخدام مضخة التغليف بدءًا من ضغط المحيط الجوي متاحًا أيضًا.
*لا بد دائمًا من وجود مضخة تغليف إضافية (في النظام متعدد المراحل) عند استخدام منفاخ تفريغ الهواء AERZEN مع مشغل مغلف.
تنزيل تسجيل الدخول إلى CustomerNet مطلوب!
