Two people on stage

منافيخ المحركات المعبأة

منافيخ الإزاحة الموجبة

منفاخ إزاحة موجبة لتكنولوجيا التفريغ العالي الصناعي.

صُممت منافخ AERZEN المزودة بمشغل مغلف لنقل الغازات الخاملة (تصميم HM) والغازات المتفاعلة (تصميم CM) وتستخدم في تقنية التفريغ الصناعي عالية المستوى. تتميز هذه السلسلة بمستويات مذهلة من الكفاءة والموثوقية العالية.

الإصدار CM من أجل الغازات المتفاعلة:

  • تغطي سلسلة AERZEN CM، بإجمالي 14 حجمًا، تدفقات حجمية للسحب النظري من 110 م³/س حتى 15,340 م³/س وضغطًا يصل إلى 10^-5 مليبار مطلق. نظرة عامة على الميزات:
  • شهادة ATEX للمنطقة 0 (الداخلية)
  • احتمالات مثلى للاختيار بوجود 4 متغيرات مختلفة للمحرك
  • حمل ميكانيكي عالي (يصل إلى 150 مليبار) ينتج عنه تقليل أعطال الضخ
  • استهلاك منخفض للماء والنيتروجين والزيت
  • تناسب الاستخدام في ظروف الغرفة النظيفة
  • مدى تحكم كبير بواسطة محول الترددات من 1.450 حتى 7.400 دورة في الدقيقة بالترتيب ومن 1.240 حتى 2.900 دورة في الدقيقة
  • إمكانية التبديل بين اتجاه التوصيل الرأسي والأفقي

الإصدار HM من أجل الغازات الخاملة:

  • بوجود 9 أحجام من نوع HM، فإن AERZEN تغطي أيضًا تدفق سحب حجمي نظري يمتد من 406 م³/س إلى 15,570 م³/س حتى سعة تفريغ قدرها 10^-5 مليبار مطلق. نظرة عامة على الميزات:
  • احتمالات مثلى للاختيار بوجود 4 متغيرات للمحرك
  • قوة ميكانيكية عالية (تصل إلى 230 مليبار في إصدارات HM) مما يؤدي إلى تقليل كبير في أعطال الضخ
  • استهلاك منخفض للماء والنيتروجين
  • تناسب الاستخدام في ظروف الغرف النظيفة
  • مدى تحكم كبير بواسطة محول الترددات مع معاملات معتمدة مكيفة من أجل منافخ المحركات المغلفة Aerzen
  • إمكانية الاختيار بين الاتجاه الرأسي والأفقي
نوع البناء
منافيخ الإزاحة الموجبة
تدفق المستوى
110 إلى 15.570 متر مكعب/ساعة
متوسط
الهواء , الغازات الخاملة , الغازات المتفاعلة
النقل
خالي من الزيت
Final vacuum
أقصى. 10^-5 مقياس ضغط بوحدة بار
Pressure difference
أقصى. 10^-5 - 200 مقياس ضغط بوحدة بار

وهو السبب وراء العمليات المتنوعة التي حسنتها فئة delta p العالية.

تقلل منفاخ المحركات المغلفة AERZEN من أعطال الضخ بشكل كبير، وهذا يزيد نسبة الإنتاجية في الإنتاج. وهذه خطورة كبيرة تجاه تحقيق الدرجة المثلى في العمليات.

التصميم والتركيب

منفاخ تفريغ الهواء AERZEN مزودة بمانعات تسرب حلقية مثبتة في شفاه الغلاف. وهناك ميزة هامة أخرى في مرحلة المنفاخ وهي قوة التفريغ وتبريد الهواء. تتم تغذية زيت التزليق بواسطة تشحيم البقعة. يمكن استخدام الزيت المعدني كمزلق، وكذلك زيت PFPE، وعادة ما يستخدم في تكنولوجيا أشبه الموصلات. منافخ المحركات المغلفة مزودة بمانعة تسرب مستطيلة بتجويف حلقي بين غرفة التوصيل وغرفة المحمل. بالإضافة إلى ذلك، توجد غرفة خاملة واسعة الأبعاد مركب بها قنوات مكثفات. واختياريًا، يمكن تطهير الغرفة الخاملة بمانع تسرب غاز، لتحقيق أقصى تأثير لمنع التسرب. تضمن المحركات المغلفة المدمجة إحكام سد عمود الإدارة. وبهذا يمكن الاستغناء عن صنع ممر للذراع إلى المحيط الجوي، وهذا يجعل تحقيق سرعات دوان عالية بدرجة كبيرة ممكن من الناحية العملية.

الغازات المتفاعلة أم الخاملة؟ توفر Aerzen حلولًا تناسب كليهما - بالإضافة إلى توفير الحجم المناسب!

صُممت منافخ AERZEN المزودة بمشغل مغلف لنقل الغازات الخاملة (إصدار HM) والغازات المتفاعلة (إصدار CM) وتستخدم خصيصًا في تقنية التفريغ الصناعي عالية المستوى. تعمل منافخ المحركات المغلفة دائمًا بالتزامن مع مضخة التغليف*. 
تبدأ مضخة التغليف هذه العمل في المحيط الجوي. يتم توصيل منفاخ المحرك المغلف قياسيًا عند قوة 50 حتى 200 مليبار تقريبًا ثم تبدأ عملية الضخ. بناء على الاستخدام، تستخدم مضخات دوارة تعمل بالسوائل، أو مضخات تفريغ دوارة ذات ريشة انزلاقية، أو مضخات تفريغ لولبية أو منافخ لتقوم بوظيفة مضخة التعبئة. عند وجود محولات التردد AERZEN ومجموعات المعاملات الخاصة، فعندها يكون التشغيل باستخدام مضخة التغليف بدءًا من ضغط المحيط الجوي متاحًا أيضًا.

الاستخدامات

  • صناعة أشباه الموصلات
  • الإلكترونيات الدقيقة
  • إنتاج الشاشات المسطحة
  • تكنولوجيا الليزر
  • التكنولوجية الشمسية
  • وحدات كشف تسرب الهيليوم
  • تكنولوجيا العمليات الكيميائية
  • الطلاء بالرقائق والزجاج
  • تصنيع أفران الصهر
  • تفريغ الهيدروجين

*لا بد دائمًا من وجود مضخة تغليف إضافية (في النظام متعدد المراحل) عند استخدام منفاخ تفريغ الهواء AERZEN مع مشغل مغلف.

معلومات ومستندات

  • Canned motor blowers [G1-093]
    [Product Brochure]

تنزيل

ملحقات وحلول