Two people on stage

تفريغ الهواء مع تبريد الدخول المسبق

منافيخ الإزاحة الموجبة

نحن خبراء في التفريغ: منافخ AERZEN مع تبريد الدخول المسبق

لتوفير تبريد الدخول المسبق، المبيت مزود بمقبس إضافي ثالث على جانب المص. يتم وضع زيت التشحيم بواسطة تشحيم بقعة الزيت. غرفة التوصيل محكمة بالتفريغ المحكم للهواء بواسطة نظام منع التسرب. عمود الإدارة محكم بحلقتي منع تسرب نصف قطرية مع حاجز شحم. اتجاه التدفق رأسي من الأعلى إلى الأسفل. يمكن تشغيل الإدارة بواسطة الاقتران المباشر أو بواسطة سير مخروطي اختياريًا (في ضغط تفاضلي محدد).

الميزات الخاصة باستخدام منافخ AERZEN mHV:

  • أضخم سلسلة على مستوى العالم بواقع 11 حجمًا
  • كفاءة مثبتة في التفريغ قاسي المجال والمرحلة المتوسطة في المضخة متعددة المراحل ويمكن استخدامه بدلًا من ذلك مع مرحلة الضغط السلبي ضد المحيط الجوي
  • ضغط تفاضلي يصل إلى حد أقصى قدره 800 مليبار محتمل
  • يناسب معدلات الضغط العالية في مجال التفريغ القاسي حتى p1/p2 = 5
  • مناسب للتشغيل المتواصل دون حدوث مشاكل ارتفاع الحرارة
  • تقليل مرتفع لحرارة تفريغ الضغط
  • لا توجد ضرورة لاستخدام صمامات إضافية أو أدوات تحكم أو غيرها
نوع البناء
منافيخ الإزاحة الموجبة
تدفق المستوى
250 إلى 61.000 متر مكعب/ساعة
متوسط
الهواء , الغازات الخاملة , الغازات المتفاعلة
النقل
خالي من الزيت
Final vacuum
أقصى. 10 مقياس ضغط بوحدة بار
Pressure difference
أقصى. 10 - 300 مقياس ضغط بوحدة بار

الجهاز العبقري العالمي المناسب لكل الاستخدامات.

صُممت منافخ AERZEN المزودة بمشغل مغلف لنقل الغازات الخاملة (إصدار HM) والغازات المتفاعلة (إصدار CM) وتستخدم خصيصًا في تقنية التفريغ الصناعي عالية المستوى. تعمل منافخ المحركات المغلفة دائمًا بالتزامن مع مضخة التغليف*. 
تبدأ مضخة التغليف هذه العمل في المحيط الجوي. يتم توصيل منفاخ المحرك المغلف قياسيًا عند قوة 50 حتى 200 مليبار تقريبًا ثم تبدأ عملية الضخ. بناء على الاستخدام، تستخدم مضخات دوارة تعمل بالسوائل، أو مضخات تفريغ دوارة ذات ريشة انزلاقية، أو مضخات تفريغ لولبية أو منافخ لتقوم بوظيفة مضخة التعبئة. عند وجود محولات التردد AERZEN ومجموعات المعاملات الخاصة، فعندها يكون التشغيل باستخدام مضخة التغليف بدءًا من ضغط المحيط الجوي متاحًا أيضًا.

الاستخدامات

  • صناعة أشباه الموصلات
  • الإلكترونيات الدقيقة
  • إنتاج الشاشات المسطحة
  • تكنولوجيا الليزر
  • التكنولوجية الشمسية
  • وحدات كشف تسرب الهيليوم
  • تكنولوجيا العمليات الكيميائية
  • الطلاء بالرقائق والزجاج
  • تصنيع أفران الصهر
  • تفريغ الهيدروجين

*لا بد دائمًا من وجود مضخة تغليف إضافية (في النظام متعدد المراحل) عند استخدام منفاخ تفريغ الهواء AERZEN مع مشغل مغلف.

ملحقات وحلول