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Spaltrohrgebläse

Drehkolbengebläse

Drehkolbengebläse für die industrielle Hochvakuumtechnik.

Aerzen Vakuumgebläse mit hermetisch dichtem Antrieb (HM) sind für die Förderung von neutralen und aggressiven Gasen konzipiert und werden in der industriellen Hochvakuumtechnik eingesetzt. Überzeugende Wirkungsgrade und hohe Zuverlässigkeit zeichnen diese Baureihe aus.

Ausführung HM für neutrale und aggressive Gase:

Mit 10 Baugrößen des Typs HM deckt AERZEN den theoretischen Nennsaugvolumenstrom von 406 m³/h bis 15.570 m³/h ab. Die besonderen Vorteile:

  • Optimale Auswahlmöglichkeiten durch 4 Motorvarianten
  • Hohe mechanische Belastbarkeit (bis 230 mbar bei HM) und damit erhebliche Verringerung von Abpumpzeiten
  • Geringe Wasser-, Stickstoffverbräuche
  • Geeignet für den Einsatz unter Reinraumbedingungen
  • Großer Regelbereich mittels Frequenzumrichter mit bewährten und auf die Aerzener Vakuumgebläse abgestimmten Parametersätzen
  • Vertikale und horizontale Förderrichtung möglich
Bauart
Drehkolbengebläse
Volumenstrom
406 bis 15.570 m3/h
Fördermedium
Luft , Neutrale Gase , Aggressive Gase
Förderung
öl-frei
Endvakuum
10^-5 mbar
Druckdifferenz
10^-5 - 0 mbar

Warum ein hohes Delta P Herstellungsprozesse optimiert.

Mit den AERZEN Vakuumgebläsen mit HM Antrieb wird durch die signifikante Verringerung der Abpumpzeit eine Erhöhung des Ausbringungsgrades in der Fertigung erreicht. Dies ist ein großer Schritt zur Prozessoptimierung.

Konstruktion und Aufbau

Die AERZEN Vakuumgebläse mit HM Antrieb zeichnen sich durch O-Ring-Dichtungen an den Gehäuseflanschen, Vakuumdichtheit und Luftkühlung der Gebläsestufe aus. Die Schmierölversorgung erfolgt durch Tauchschmierung. Als Schmierstoff können Mineralöl oder auch das in der Halbleitertechnik übliche PFPE-Öl eingesetzt werden. Diese Gebläse sind mit einer speziellen Rechteckring-Labyrinth-Abdichtung zwischen Förderraum und Lagerräumen ausgerüstet. Zusätzlich ist ein reichlich dimensionierter neutraler Raum mit Kondensatkanälen integriert. Optional lässt sich der neutrale Raum mit Sperrgas beaufschlagen, um eine erhöhte Sperrwirkung zu erzielen. Die Abdichtung der Antriebswelle erfolgt durch den hermetisch dichten Motor, so dass eine  Wellendurchführung zur Atmosphäre entfällt und dadurch erheblich höhere Drehzahlen technisch möglich sind.

Neutrale oder agressive Gase? Aerzen bietet für beides eine Lösung - und dazu noch die passende Größe.

Die Aerzen Vakuumgebläse mit hermetisch dichtem Antrieb (HM) sind für die Förderung von neutralen und aggressiven Gasen konzipiert und finden spezielle Anwendung in der industriellen Hochvakuumtechnik. Vakuumgebläse arbeiten immer in Kombination mit einer Vorpumpe*.

Diese Vorpumpe startet bei Atmosphäre und klassisch wird das Vakuumgebläse bei ca. 50 bis 200 mbar zugeschaltet und der Abpumpprozess beginnt. Als Vorpumpe kommen je nach Applikation Flüssigkeitsringpumpen, Drehschiebervakuumpumpen oder auch Schraubenvakuumpumpen zum Einsatz. Bei Lieferung mit AERZEN Frequenzumrichtern und speziellen Parametersätzen ist auch ein Betrieb mit der Vorpumpe ab Atmosphärendruck möglich.

Anwendungen

  • Halbleiterindustrie
  • Mikroelektronik
  • Herstellung von Flachbildschirmen
  • Lasertechnologie
  • Solartechnik
  • Helium-Lecksuchanlagen
  • Chemie- und Verfahrenstechnik
  • Folien- und Glasbeschichtung
  • Schmelzofenbau
  • Evakuierung von Wasserstoff

*Bei Einsatz eines AERZEN Vakuumgebläses mit HM-Antrieb ist immer eine zusätzliche Vorpumpe (Mehrstufensystem) erforderlich.

Information & Dokumente

  • Spaltrohrgebläse [G1-093]
    [Produktbroschüre
    AERZEN Headquarter]
  • Vakuum-Pumpe mit Spaltrohrmotorantrieb [G4-012]
    [Betriebsanleitung]

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