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VAKUUM mit Voreinlasskühlung

Drehkolbengebläse

Experten für Vakuum: AERZEN Gebläse mit Voreinlasskühlung.

Zur Voreinlasskühlung ist das Gehäuse mit einem zusätzlichen dritten Stutzen auf der Saugseite ausgerüstet. Die Schmierölversorgung erfolgt durch Tauchschmierung. Der Förderraum ist durch ein Dichtungssystem vakuumdicht abgedichtet. Antriebswelle durch doppelte Radialdichtringe mit Ölüberlagerung abgedicht. Förderrichtung vertikal von oben nach unten. Der Antrieb kann über eine direkte Kupplung mit Motor/Stirnradgetriebe oder über Schmalkeilriemen (bei begrenzter Druckdifferenz) erfolgen. 

Besondere Vorteile sprechen für den Einsatz AERZEN mHV Gebläse:

  • Größte Baureihe weltweit mit 11 Baugrößen
  • Im Gebiet Grobvakuum als Zwischenstufe in mehrstufigen Pumpständen und alternativ auch als Unterdruckstufe gegen Atmosphäre einsetzbar
  • Druckdifferenzen bis max. 800 mbar möglich
  • Geeignet für hohe Kompressionsverhältnisse im Grobvakuumbereich bis p1/p2 = 5
  • Geeignet für Dauerbetrieb ohne Überhitzungsprobleme
  • Hohe Reduzierung der Verdichtungsendtemperatur
  • Keine zusätzlichen Ventile, Regler, etc. erforderlich
Bauart
Drehkolbengebläse
Volumenstrom
250 bis 61.000 m3/h
Fördermedium
Luft , Neutrale Gase , Aggressive Gase
Förderung
öl-frei
Endvakuum
Max. 10 mbar
Druckdifferenz
Max. 10 - 300 mbar

Drehkolbengebläse für die industrielle Hochvakuumtechnik.

Die AERZEN Gebläse mit Spaltrohrantrieb sind für die Förderung von neutralen (Ausführung HM) und aggressiven (Ausführung CM) Gasen konzipiert und finden spezielle Anwendung in der industriellen Hochvakuumtechnik. Spaltrohrgebläse arbeiten immer in Kombination mit einer Vorpumpe*. 
Diese Vorpumpe startet bei Atmosphäre und klassisch wird das Spaltrohrgebläse bei ca. 50 bis 200 mbar zugeschaltet und der Abpumpprozess beginnt. Als Vorpumpe kommen je nach Applikation Flüssigkeitsringpumpen, Drehschiebervakuumpumpen, Schraubenvakuumpumpen oder auch Gebläse zum Einsatz. Bei Lieferung mit AERZEN Frequenzumrichtern und speziellen Parametersätzen ist auch ein Betrieb mit der Vorpumpe ab Atmosphärendruck möglich.

Anwendungen

  • Halbleiterindustrie
  • Mikroelektronik
  • Herstellung von Flachbildschirmen
  • Lasertechnologie
  • Solartechnik
  • Helium-Lecksuchanlagen
  • Chemie- und Verfahrenstechnik
  • Folien- und Glasbeschichtung
  • Schmelzofenbau
  • Evakuierung von Wasserstoff

*Bei Einsatz eines AERZEN Vakuumgebläses mit Spaltrohrantrieb ist immer eine zusätzliche Vorpumpe (Mehrstufensystem) erforderlich.

Information & Dokumente

  • Drehkolbengebläse - Vakuum mit Voreinlass Kühlung [G1-096]
    [Produktbroschüre]
  • Vakuum Drehkolben-Gebläsestufe - Wassergekühlter hermetischer Antrieb
    [Betriebsanleitung]

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