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Bombas de vacío con motor encapsulado

Sopladores de desplazamiento positivo

Soplador de desplazamiento positivo para tecnología de alto vacío industrial.

Los sopladores de AERZEN con motor encapsulado están diseñados para transportar gases neutros (modelos HM) y agresivos (modelos CM) y se emplean en la tecnología de alto vacío industrial. Esta serie se caracteriza por sus impresionantes niveles de eficiencia y gran fiabilidad.

Serie CM para gases agresivos:

  • La serie CM de AERZEN, con un total de 14 tamaños, abarca unos caudales de aspiración nominales de 110 m³/h a 15.340 m³/h y unos intervalos de presión de hasta 10^-5 mbar abs. Las ventajas de un vistazo:
  • Certificado ATEX para la zona 0 (interna)
  • Óptimas posibilidades de selección gracias a 4 modelos diferentes de motor
  • Alta carga mecánica (hasta 150 mbar) y, por tanto, disminución de los períodos de bombeo de vacío
  • Bajo consumo de agua, nitrógeno y aceite
  • Adecuado para aplicaciones en entornos de salas blancas
  • Amplio rango de control mediante variador de frecuencia de 1.450 a 7.400 o de 1.240 a 2.900 rpm
  • Dirección de caudal vertical y horizontal

Serie HM para gases neutros:

  • Con la serie HM, disponible en 9 tamaños, AERZEN también abarca unos caudales de aspiración nominales de 406 m³/h a 15.570 m³/h y un vacío de hasta 10^-5 mbar abs. Las ventajas de un vistazo:
  • Óptimas posibilidades de selección gracias a 4 modelos de motor
  • Alta resistencia mecánica (hasta 230 mbar para la serie HM) y, por consiguiente, reducción notable de tiempos de bombeo de vacío
  • Bajo consumo de agua y nitrógeno
  • Adecuados para aplicaciones en entornos de sala blanca
  • Amplio rango de control mediante variador de frecuencia con parámetros probados y adaptados a los sopladores de motor encapsulado de AERZEN
  • Dirección de caudal vertical y horizontal
Tipo de construcción
Sopladores de desplazamiento positivo
Caudal volumétrico
64,746 a 9.164,502 CFM
Medio
aire , gases neutros , gases agresivos
Transporte
sin aceite
Final vacuum
Presión manométrica máx. 0 mbar
Pressure difference
Presión manométrica máx. 2,9 mbar

La razón por la cual los procesos de fabricación se optimizan mediante una alta presión diferencial.

Los sopladores de motor encapsulado de AERZEN reducen considerablemente el tiempo de interrupción de la bomba, lo que se traduce en un aumento de la relación de rendimiento en la producción. Este es un gran paso hacia la optimización de los procesos.

Diseño y construcción

Los sopladores de vacío de AERZEN están provistos de juntas tóricas en las bridas de la carcasa. Otras ventajas importantes de la etapa soplador son su hermeticidad al vacío y el enfriamiento por aire. La lubricación se realiza por inmersión. Se puede emplear aceite mineral como lubricante, así como aceites PFPE, que se usan con frecuencia en la tecnología de semiconductores. Los sopladores de motor encapsulado están equipadas con un sello de laberinto con anillos de pistón rectangulares entre la cámara de transporte y la cámara de rodamientos. Además incluye una cámara neutra de grandes dimensiones con canales de drenaje de condensados. La cámara neutra se puede purgar alternativamente con gas de sellado para conseguir un sellado mayor. El motor encapsulado integrado asegura el sellado del eje de transmisión. Por lo tanto, es posible suprimir un paso de eje a presión atmosférica, lo cual hace técnicamente posible alcanzar velocidades de rotación considerablemente mayores.

¿Gases neutros o agresivos? AERZEN le ofrece soluciones para ambos y el tamaño adecuado.

Los sopladores de AERZEN de motor encapsulado están diseñadas para transportar gases neutros (modelos HM) y agresivos (modelos CM) y se emplean sobre todo en la tecnología de alto vacío industrial. Los sopladores de motor encapsulado operan siempre combinados con una prebomba*. 
Esta prebomba comienza a funcionar a presión atmosférica. El bomba de vacío con motor encapsulado se conecta normalmente a una presión de unos 50 a 200 mbar y empieza el proceso de bombeo de vacío. En función de la aplicación como prebombas se emplean bombas de anillo líquido, bombas de vacío rotatorias de paletas, bombas de vacío helicoidales o sopladores. Cuando se suministran con variadores de frecuencia de AERZEN y conjuntos de parámetros especiales, también se pueden operar haciendo que la prebomba comience a funcionar a presión atmosférica.

Aplicaciones

  • Industria de semiconductores
  • Microelectrónica
  • Fabricación de pantallas planas
  • Tecnología láser
  • Tecnología solar
  • Equipos de detección de fugas de helio
  • Industria de procesos químicos
  • Recubrimiento de láminas y vidrio
  • Construcción de hornos de fusión
  • Evacuación de hidrógeno

*Se necesita siempre una prebomba adicional (sistema multietapa) si se usa un soplador de vacío de AERZEN con motor encapsulado.

Información y documentación

  • Bombas de vacío con motor encapsulado [G1-093]
    [Catálogo de productos]

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