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Surpresseurs avec moteurs à stator chemisé

Surpresseurs à déplacement positif

Surpresseur à déplacement positif pour la technologie industrielle du vide poussé.

Les surpresseurs d'AERZEN avec transmission à stator chemisé sont conçus pour le transport de gaz neutres (version HM) et agressifs (version CM) et sont surtout utilisés dans la technologie industrielle du vide poussé. Cette gamme se caractérise par une fiabilité et une efficacité énergétique hors du commun.

Version CM pour les gaz agressifs :

  • La gamme CM d’AERZEN, avec un total de 14 dimensions, couvre des débits de prise théoriques de 110 m³/h à 15 340 m³/h et des fourchettes de pression de 10^-5 mbar abs. Les avantages en un coup d’œil :
  • Certification ATEX pour la zone 0 (intérieur)
  • Possibilités de sélection optimales grâce à 4 variantes de moteur
  • Charge mécanique élevée (jusqu’à 150 mbar) et, par conséquent, réduction des périodes d’arrêt de pompage
  • Faible consommation d’eau, d’azote et d’huile
  • Convient à l’application dans des conditions de salle blanche
  • Grande fourchette de contrôle au moyen d’un convertisseur de fréquence de 1 450 à 7 400 tr/min et de 1 240 à 2 900 tr/min
  • Sens de transport vertical et horizontal possible

Version HM pour les gaz neutres :

  • Avec 9 dimensions de type HM, AERZEN couvre le débit de prise théorique de 406 m³/h à 15 570 m³/h, et jusqu’à un vide de 10^-5 mbar abs. Les avantages en un coup d’œil :
  • Des possibilités de sélection optimales grâce à 4 variantes de moteur
  • Force mécanique élevée (jusqu’à 230 mbar dans le cas de HM) et, par conséquent, réduction importante des périodes d’arrêt de pompage
  • Faible consommation d’eau et d’azote
  • Convient pour une application dans des conditions de salle blanche
  • Grande fourchette de contrôle grâce à un convertisseur de fréquences avec des paramètres avérés, réglés pour les surpresseurs à moteur à stator chemisé d’AERZEN
  • Sens du débit vertical et horizontal possibles
Type de construction
Surpresseurs à déplacement positif
Débit
406 à 15.570 m3/h
Fluide à véhiculer
air , gaz neutres , gaz agressifs
Transport
sans huile
Final vacuum
mbar 10^-5

La raison pour laquelle les procédés de fabrication sont fortement optimisés grâce à un delta p élevé.

Les surpresseurs à moteur à stator chemisé d’AERZEN réduisent de façon importante les périodes d’arrêt de la pompe, ce qui conduit à une augmentation du ratio de production. C’est un grand pas vers l’optimisation des procédés.

Conception et fabrication

Les surpresseurs fonctionnant en vide d’AERZEN sont fournis avec des joints toriques sur les brides du boîtier. Les autres avantages principaux du surpresseur sont l’étanchéité du vide et le refroidissement à air. L'approvisionnement en huile de lubrification se fait par barbotage. De l’huile minérale peut être utilisée comme lubrifiant ainsi que de l’huile PFPE, généralement utilisée dans la technologie des semi-conducteurs. Les surpresseurs à moteur à stator chemisé sont équipés d’un joint-labyrinthe à bague rectangulaire spécial entre la chambre de transport et la chambre du palier. Une grande chambre neutre avec des canaux de condensation est également installée. En option, la chambre neutre peut être purgée avec du gaz d’étanchéité, afin d’obtenir un meilleur effet d’étanchéité. Le moteur à stator chemisé intégré assure l’étanchéité de l’arbre de transmission. Un passage de l’arbre vers l’atmosphère peut donc être évité, ce qui rend possible l’obtention d’une vitesse de rotation bien plus élevée.

Gaz neutres ou agressifs? Aerzen propose des solutions dans les deux cas, avec la dimension appropriée!

Les surpresseurs d'AERZEN avec transmission à stator chemisé sont conçus pour le transport de gaz neutres (version HM) et de gaz agressifs (version CM), et sont surtout utilisés dans la technologie industrielle du vide poussé. Les surpresseurs à moteur à stator chemisé fonctionnent en association avec une pompe auxiliaire*. 
Cette pompe auxiliaire commence à fonctionner en fonction de la pression atmosphérique. Le surpresseur à moteur à stator chemisé est habituellement raccordé à environ 50 à 200 mbar et la procédure de pompage commence. En fonction de l’application, on utilise, des pompes à anneau liquide, des pompes à vide à vanne rotative coulissante, des pompes à vide à vis ou des surpresseurs comme pompe auxiliaire. Lorsqu’elles sont fournies avec des convertisseurs de fréquence d'AERZEN et des jeux de paramètres spéciaux, des pompes auxiliaires démarrant avec la pression atmosphérique peuvent aussi être utilisées.

Applications

  • Industrie des semi-conducteurs
  • Micro-électronique
  • Production d’écrans plats
  • Technologie laser
  • Technologie solaire
  • Unités de détection de fuites d’hélium
  • Technologie de traitement chimique
  • Revêtement par feuille et verre
  • Fabrication de fours de fusion
  • Évacuation de l’hydrogène

*Une pompe auxiliaire supplémentaire (système à étages multiples) est toujours nécessaire lorsque l’on utilise un surpresseur fonctionnant en vide d'AERZEN avec transmission à stator chemisé.

Accessoires et solutions