Two people on stage

Busmotorblowers

Draaizuigerblowers

Draaizuigerblower voor industriële hoogvacuümtechniek.

AERZEN-blowers met busmotoraandrijving zijn ontworpen voor het verpompen van neutrale (HM-versie) en agressieve (CM-versie) gassen en worden vooral gebruikt in de industriële hoogvacuümtechniek. Deze serie is gekenmerkt door indrukwekkende niveaus van efficiëntie en hoge betrouwbaarheid.

CM-versie voor agressieve gassen:

  • De AERZEN CM-serie, met een totaal van 14 afmetingen, dekt theoretische aanzuigvolumestromen van 110 m³/h tot 15.340 m³/h en drukbereiken tot 10^-5 mbara. De voordelen in een oogopslag:
  • ATEX-certificatie voor zone 0 (intern)
  • Optimale keuzemogelijkheden dankzij 4 verschillende motorvarianten
  • Hoge mechanische belasting (tot 150 mbar) en daarom afname van de inactieve pomptijden
  • Slechts gering water-, stikstof- en olieverbruik
  • Geschikt voor de toepassing onder clean-roomcondities
  • Groot regelbereik door middel van frequentie-omvormer van 1.450 tot 7.400 tpm resp. van 1.240 tot 2.900 tpm.
  • Verticale en horizontale transportrichting mogelijk

HM-versie voor neutrale gassen:

  • Met 9 afmetingen van type HM dekt AERZEN ook de theoretische aanzuigvolumestroom van 406 m³/h to 15.570 m³/h, tot een vacuüm van 10^-5 mbara. De voordelen in een oogopslag:
  • Optimale keuzemogelijkheden dankzij 4 verschillende motorvarianten
  • Hoge mechanische sterkte (tot 230 mbar in geval van HM) en bijgevolg aanzienlijke vermindering van tijden voor het afpompen.
  • Laag water-, stikstofverbruik
  • Geschikt voor toepassing onder clean-roomcondities
  • Groot regelbereik door middel van frequentie-omvormer met beproefde parameters, afgestemd voor de AERZEN busmotorblowers
  • Verticale en horizontale stroomrichting mogelijk
Type bouw
Draaizuigerblowers
Volumestroom
110 tot 15.570 m3/h
Medium
lucht , neutrale gassen , agressieve gassen
Transport
olievrij
Final vacuum
Max. 10^-5 mbar drukmeter
Pressure difference
Max. 10^-5 - 200 mbar drukmeter

De reden waarom fabricageprocessen geoptimaliseerd worden door een hoog drukverschil.

AERZEN-busmotorblowers verminderen significant de afpomptijd, wat leidt tot een toename van het outputkengetal in productie. Dit is een grote stap voorwaarts in procesoptimalisatie.

Ontwerp en constructie

AERZEN-vacuümpompen worden voorzien van O-ringafdichtingen aan de behuizingsflenzen. Andere belangrijke voordelen van de blowertrap zijn vacuümdichtheid en luchtkoeling. Smeerolietoevoer wordt geleverd door spatsmering. Minerale olie kan gebruikt worden als smeermiddel, evenals de PFPE-olie, die gewoonlijk gebruikt wordt in de halfgeleidertechnologie. De busmotorblowers zijn uitgerust met een speciale rechthoekige ring-labyrint-afdichting tussen de pompkamer en de lagerkamer. Bovendien is een ruim gedimensioneerde neutrale kamer met condensaatkanalen geïnstalleerd. Optioneel kan de neutrale kamer worden gespoeld met afdichtgas om een verhoogd afdichteffect te bereiken. De ingebouwde busmotor verzekert de afdichting van de aandrijfas. Een asdoorgang naar atmosfeer kan daarom weggelaten worden, wat het technisch mogelijk maakt om significant hogere rotatiesnelheden te bereiken.

Neutrale of agressieve gassen? AERZEN biedt oplossingen voor beide - evenals de gepaste afmeting!

AERZEN-blowers met busmotoraandrijving zijn ontworpen voor het verpompen van neutrale (HM-versie) en agressieve (CM-versie) gassen en worden vooral gebruikt in de industriële vacuümtechniek. Busmotorblowers werken altijd in combinatie met een voorpomp". 
De voorpomp begint te werken op atmosfeerdruk. De busmotorblower is typisch verbonden op ca. 50 tot 200 mbar en het afpompproces begint. Afhankelijk van de toepassing worden vloeistofringpompen, schottenvacuümpompen, schroefvacuümpompen of blowers gebruikt als de voorpomp. Indien geleverd met AERZEN-frequentie-omvormers en speciale sets van paramaters, is de werking van de voorpomp, startend vanaf atmosfeerdruk, ook mogelijk.

Toepassingen

  • Halgeleiderindustrie
  • Micro-elektronica
  • Productie van vlakke schermen
  • Lasertechnologie
  • Zonne-energietechnologie
  • Lekdetectie-units voor helium
  • Chemische procestechniek
  • Folie- en glascoating
  • Fabricage van smeltovens
  • Afvoer van waterstof

*Een bijkomende voorpomp (meertraps systeem) is steeds vereist bij gebruik van een AERZEN-vacuümpomp met busmotoraandrijving.

Informatie & documenten

  • Draaizuiger - vacuümpomp - met ingeblikte motoraandrijving [G4-012]
    [Gebruiksaanwijzing]
  • Busmotorblowers [G1-093]
    [Productbrochure]

download

Toebehoren & oplossingen