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Sopradores de motor blindado

Soprador de lóbulo rotativo

Soprador de lóbulo rotativo para tecnologia industrial de vácuo elevado.

Os sopradores AERZEN com acionamento blindado foram concebidos para transporte de gases neutros (design HM) e agressivos (design CM) e são utilizados na tecnologia industrial de alto vácuo. Esta série caracteriza-se por níveis impressionantes de eficiência e de elevada confiabilidade.

Versão CM para gases agressivos:

  • A série CM da AERZEN, com um total de 14 tamanhos, abrange caudais de aspiração nominal teóricos de 110 m³/h a 15.340 m³/h e âmbitos de pressão até 10^-5 mbar abs. Resumo das vantagens:
  • Certificação ATEX para zona 0 (interior)
  • Excelentes possibilidades de seleção por 4 diferentes variantes de motor
  • Elevada carga mecânica (até 150 mbar) e, logo, diminuição dos períodos de bombagem
  • Consumo reduzido de água, nitrogênio e óleo
  • Adequado para aplicação em condições de sala limpa
  • Grande gama de controle através de variador de frequência de 1.450 a 7.400 rpm resp. de 1.240 a 2.900 rpm
  • Possibilidade de direção de transporte vertical e horizontal

Versão HM para gases neutros:

  • Com 9 tamanhos do tipo HM, a AERZEN abrange também caudais de aspiração nominal teóricos de 406 m³/h a 15.570 m³/h até um vácuo de 10^-5 mbar abs. Resumo das vantagens:
  • Excelentes possibilidades de seleção por 4 variantes de motor
  • Elevada força mecânica (até 230 mbar no caso do HM) e consequentemente redução dos tempos de bombagem
  • Baixo consumo de água e nitrogênio
  • Adequado para aplicação em condições de sala limpa
  • Elevada gama de controle através de variador de frequência com parâmetros comprovados, ajustados para sopradores de motor blindado AERZEN
  • Possibilidade de fluxo com direção vertical e horizontal
Tipo de construção
Soprador de lóbulo rotativo
Vazão
406 a 15.570 m3/h
Fluido
ar , gases neutros , gases agressivos
Transporte
isento de óleo
Final vacuum
10^-5 em mbar

É por esse motivo que os processos de fabricação são otimizados por um delta p elevado.

Os sopradores de motor blindado AERZEN reduzem significativamente o tempo de bombagem, o que leva a um aumento do rendimento na produção. É um grande passo rumo ao processo de otimização.

Design e construção

Os sopradores em vácuo AERZEN são fornecidos com vedações O-rings nos flanges do corpo. Outras importantes vantagens do bloco de soprador são o fato de serem estanques ao vácuo e com refrigeração de ar. O óleo lubrificante é fornecido por lubrificação por imersão de óleo. Pode ser utilizado óleo mineral como lubrificante, bem como óleo PFPE, geralmente utilizado na tecnologia dos semicondutores. Os sopradores de motor blindado estão equipados com uma vedação retangular de eixo de pistão especial entre a câmara de transporte e a câmara de rolamentos. Além do mais, está instalada uma câmara neutra de grande dimensão com canais condensados. Opcionalmente, a câmara neutra pode ser purgada com gás de vedação, de modo a conseguir um maior efeito de vedação. Os motores blindados integrados garantem a vedação do veio de acionamento. Uma passagem do veio para a atmosfera pode assim ser omitida, tornando tecnicamente impossível conseguir velocidades de rotação significativamente superiores.

Gases neutros ou agressivos? A AERZEN oferece soluções para ambos - bem como tamanhos adequados!

Os sopradores AERZEN com acionamento blindado foram concebidos para o transporte de gases neutros (versão HM) e agressivos (versão CM) e são utilizados especialmente na tecnologia industrial de alto vácuo. Os sopradores de motor blindado trabalham em combinação com uma bomba de reserva*. 
A bomba de reserva começa a funcionar à pressão atmosférica. O soprador de motor blindado é geralmente ligado a cerca de 50 a 200 mbar e começa o processo de bombagem. Dependendo da aplicação, são utilizadas como bomba de reserva, bombas de anel líquido, bombas de vácuo com válvula de distribuição rotativa, bombas de vácuo de parafuso ou sopradores. Quando fornecido com variadores de frequência AERZEN e conjuntos com parâmetros especiais, também é possível a operação da bomba de reserva a partir da pressão atmosférica.

Aplicações

  • Indústria de semicondutores
  • Microeletrônica
  • Produção de telas planas
  • Tecnologia laser
  • Tecnologia solar
  • Unidades de indicação de fuga de hélio
  • Tecnologia de processo químico
  • Revestimento de película e vidro
  • Fabrico de fornos de fusão
  • Evacuação de hidrogênio

*É necessária uma bomba de reserva adicional (sistema com vários blocos) ao utilizar o soprador em vácuo AERZEN com acionamento blindado.

Acessórios e soluções