Two people on stage

Dúchadlá so zabudovanými motormi

Objemové dúchadlá

Objemové dúchadlo v priemyselnej technológii vysokého vákua.

DúchadláAERZENso zabudovaným motoromsú určené na prepravu neutrálnych (HM dizajn) a agresívnych (CM dizajn) plynov a sú používané v priemyselných technológiách vysokého vákua. Tento rad sa vyznačuje impozantnou úrovňou účinnosti a vysokej spoľahlivosti.

CM verzia pre agresívne plyny:

  • Séria AERZEN CM, s celkom 14 veľkosťami pokrýva teoretický objemový prietok od 110 m³/h do 15.340 m³/h s rozsahom tlakov až do 5-5mbar abs. Výhody na prvý pohľad:
  • ATEX certifikácia pre zónu 0 (internú)
  • Optimálne možnosti výberu podľa 4 rôznych motorových variantov
  • Vysoké mechanické zaťaženie (až do 150 mbar), a preto zníženie čerpacieho času
  • Iba malé spotreby vody, dusíka a oleja
  • Vhodné pre použitie v podmienkach čistých priestorov
  • Veľký rozsah regulácie pomocou frekvenčného meniča od 1.450 do 7.400 otáčok za minútu, resp. od 1.240 do 2.900 otáčok za minútu
  • Možný zvislí a vodorovný smer dopravovania

HM verzia pre neutrálne plyny:

  • S 9 veľkosťami typu HM, AERZEN pokrýva teoretické objemové prietoky od 406 m³/h do 15.570 m³/h,do vákua až10-5mbar abs. Výhody na prvý pohľad:
  • Optimálne možnosti výberu zo4 motorových variantov
  • Vysoká mechanická pevnosť (až do 230 mbar v prípade HM) na základe čoho sa dosahuje výrazné skrátenie čerpacieho času
  • Nízka spotreba vody adusíka
  • Vhodné pre použitie v čistých prevádzkových podmienkach
  • Veľký rozsah regulácie pomocou frekvenčného meniča, s osvedčenýmiparametrami nastavenými nadúchadlá so zapuzdreným motoromAerzen.
  • Vertikálny aj horizontálny smer prúdenia
Typ konštrukcie
Objemové dúchadlá
Objemový prietok
406 do 15.570 m3/h
Médium
vzduch , neutrálne plyny , agresívne plyny
Kompresia
bezolejová
Final vacuum
10^-5 mbar
Pressure difference
10^-5 - 0 mbar

Dôvodom prečo sú výrobné procesy optimalizované pre vysokédelta p.

AERZEN hermeticky uzavreté motorové dúchadlá redukujú proces čerpania, ktorý vedie k zvýšeniu výkonu vo výrobe. To je veľký krok smerom k optimalizácii procesov.

Dizajn a konštrukcia.

Vákuové dúchadláAERZENsú vybavené O-krúžkami na spojovacích prírubách. Ďalšie dôležité výhody dúchadlového stupňa sú vákuová tesnosť a chladenie vzduchom. Mazací olej je dodávaný rozstrekovýmmazaním. Ako mazivo môže byť použitý minerálny olej, rovnako ako aj olejetypu PFPE, všeobecne používané v polovodičovej technológii. Hermeticky uzavreté motorové dúchadlá sú vybavené špeciálnym labyrintom tesniacich krúžkov medzi dopravnou komorou a ložiskovou komorou. Okrem toho je nainštalovaná bohato dimenzovaná neutrálna komora s kanálmi na odvod kondenzátu. Voliteľne, môže byť neutrálna komora preplachovanáplynom, za účelom dosiahnutia lepšieho tesniaceho účinku. Integrovaný zapuzdrený motor zabezpečuje tesnosť hnacieho hriadeľa. Hriadeľový priechod voči atmosfére môže byť preto vynechaný, takže je technicky možné dosiahnuť podstatne vyššie rýchlosti otáčania.

Neutrálne alebo agresívne plyny? Aerzen ponúka riešenie pre oba prípady - rovnako akoajvhodnú veľkosť!

AERZEN dúchadla so zabudovaným pohonom sú určené pre prepravu neutrálnych (HM verzia) a agresívnych (CM verzia) plynov a používajú sa predovšetkým v priemyselnej vysoko vákuovej technike. Hermeticky uzavreté motorové dúchadlá vždy pracujú v kombinácii s vratným dúchadlom 
Toto vratné dúchadlo začína pracovať pri atmosférickom tlaku. Hermeticky uzavreté motorové dúchadlo sa obvykle pripájapri cca. 50 až 200 mbar, kedy sa začína proces pumpovania. V závislosti na aplikácii sa používajú ako vratné dúchadlávodokružné čerpadlá, lamelové rotačné vývevy, skrutkové vákuové kompresory, alebo dúchadlá. Ak sú dodávané s frekvenčným meničom od spoločnosti AERZEN a sú použitéšpeciálne zostavy parametrov, jemožnátiež prevádzka s vratným dúchadlom od atmosférického tlaku.

Aplikácie

  • Polovodičový priemysel
  • Mikroelektronika
  • Výroba plochých obrazoviek
  • Laserová technológia
  • Solárna technológia
  • Signalizačné jednotky úniku hélia
  • Technológie chemických procesov
  • Povlakovanie fólií a skla
  • Výroba taviacich pecí
  • Evakuáciavodíka

* Dodatočné vratné dúchadlo (viacstupňový systém) je vždy požadované pri použití AERZEN vákuového dúchadla so zabudovaným pohonom.

Informácie a dokumenty

  • Dúchadlá so zabudovanými motormi [G1-093]
    [Brožúra o produktoch
    AERZEN Slovakia]

stiahnuť

Príslušenstvo a riešenia