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Soplantes de motor encapsulado

Soplantes de desplazamiento positivo

Soplante de desplazamiento positivo para tecnología de alto vacío industrial.

Las soplantes de AERZEN de motor encapsulado están diseñadas para transportar gases neutros (modelos HM) y agresivos (modelos CM) y se emplean en la tecnología de alto vacío industrial (high-vacuum.technology). Esta serie se caracteriza por sus impresionantes niveles de eficiencia y gran fiabilidad.

Serie CM para gases agresivos:

  • La serie CM de AERZEN, con un total de 14 tamaños, abarca unos caudales de succión teóricos de 110 m³/h a 15 340 m³/h y unos intervalos de presión de hasta 10^-5 mbar abs. Resumen de ventajas:
  • Certificación ATEX para la zona 0 (interna)
  • Óptimas posibilidades de selección gracias a 4 modelos diferentes de motor
  • Alta carga mecánica (hasta 150 mbar) y, por tanto, disminución de los períodos de bombeo de vacío
  • Bajo consumo de agua, nitrógeno y aceite
  • Adecuado para aplicaciones en entornos de salas blancas
  • Amplio margen de control mediante variador de frecuencia de 1450 a 7400 o de 1240 a 2900 rpm
  • Posición de transporte en vertical y horizontal

Serie HM para gases neutros:

  • Con la serie HM, disponible en 9 tamaños, AERZEN también abarca unos caudales de succión teóricos de 406 m³/h a 15 570 m³/h y un vacío de hasta 10^-5 mbar abs. Resumen de ventajas:
  • Óptimas posibilidades de selección gracias a 4 modelos de motor
  • Alta resistencia mecánica (hasta 230 mbar para la serie HM) y, por consiguiente, reducción notable de tiempos de bombeo de vacío
  • Bajo consumo de agua y nitrógeno
  • Adecuados para aplicaciones en entornos de sala blanca.
  • Amplio margen de control mediante variador de frecuencia con parámetros probados y adaptados a las soplantes de motor encapsulado de AERZEN
  • Dirección del caudal tanto vertical como horizontal
Tipo de construcción
Soplantes de desplazamiento positivo
Caudal volumétrico
406 a 15.570 m3/h
Medio
aire , gases neutros , gases agresivos
Transporte
exento de aceite
Final vacuum
10^-5 mbar de presión manométrica
Pressure difference
10^-5 - 0 mbar de presión manométrica

La razón por la cual los procesos de fabricación se optimizan mediante un delta p elevado.

Las soplantes de motor encapsulado de AERZEN reducen considerablemente el tiempo de interrupción de la bomba, lo que se traduce en un aumento de la relación de rendimiento en la producción. Este es un gran paso hacia la optimización de procesos.

Diseño y construcción

Las soplantes de vacío de AERZEN están provistas de juntas tóricas en las bridas de la carcasa. Otras ventajas importantes de la fase soplante son su estanqueidad al vacío y la refrigeración por aire. El aceite de lubricación se suministra mediante lubricación por inmersión. Se puede emplear aceite mineral como lubricante, así como aceites PFPE, que se usan con frecuencia en la tecnología de semiconductores. Las soplantes de motor encapsulado están equipadas con un sello laberíntico especial de anillo rectangular entre la cámara de impulsión y la cámara de rodamientos. Se instala además una cámara neutra de grandes dimensiones con canales de condensación. La cámara neutra se puede purgar alternativamente con gas de sellado para conseguir un efecto de sellado mayor. El motor encapsulado integrado asegura el sellado del eje de transmisión. Por lo tanto, es posible suprimir un paso de eje a presión atmosférica, lo cual hace técnicamente posible alcanzar velocidades de rotación considerablemente mayores.

¿Gases neutros o agresivos? AERZEN le ofrece soluciones para ambos y el tamaño adecuado.

Las soplantes de AERZEN de motor encapsulado están diseñadas para transportar gases neutros (modelos HM) y agresivos (modelos CM) y se emplean sobre todo en la tecnología de alto vacío industrial. Las soplantes de motor encapsulado operan siempre combinadas con una prebomba*. 
Esta prebomba comienza a funcionar a presión atmosférica. La soplante de motor encapsulado se conecta normalmente a una presión de unos 50 a 200 mbar y empieza el proceso de bombeo de vacío. En función de la aplicación, como prebombas se emplean bombas de anillo líquido, bombas de vacío rotatorias de paletas, bombas de vacío helicoidales o soplantes. Cuando se suministran con variadores de frecuencia de AERZEN y conjuntos de parámetros especiales, también se pueden operar haciendo que la prebomba comience a funcionar a presión atmosférica.

Aplicaciones

  • Industria de semiconductores
  • Microelectrónica
  • Fabricación de pantallas planas
  • Tecnología láser
  • Tecnología solar
  • Equipos de detección de fugas de helio
  • Industria de procesos químicos
  • Recubrimiento de láminas y vidrio
  • Construcción de hornos de fusión
  • Evacuación de hidrógeno

*Se necesita siempre una prebomba adicional (sistema multifase) si se usa una soplante de vacío de AERZEN con motor encapsulado.

Información y documentación

  • Soplante de motor encapsulado [G1-093]
    [Catálogo de productos]
  • Soplantes de vacío con bomba de vacío y propulsión de motor encapsulado [G4-012]
    [Instrucciones de servicio]

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