Two people on stage

密闭式电机鼓风机

正排量风机

适用于工业高真空技术的正排量风机。

带有密闭式驱动装置的 AERZEN 鼓风机经过专门设计,可输送中性(HM 设计)和腐蚀性(CM 设计)气体,用于工业高真空技术。 此系列的特点是高能效和高可靠性。

适用于腐蚀性气体的 CM 系列版本:

  • AERZEN CM 系列共可选 14 种结构尺寸,适用的理论进气流量范围从 110 m³/h 到 15,340 m³/h,适用的压力范围在 10^-5 mbar 绝对压力以内。 产品优势一览:
  • 通过 ATEX 0 区认证(内部)
  • 4 种不同电机变体,实现最佳选择
  • 机械负载较高(高达 150 mbar),因此缩短了泵送时间
  • 仅消耗极少水、氮和油
  • 适用于净室环境应用
  • 借助变频器实现较大的控制范围(从 1.450 到 7.400 rpm,或从 1.240 到 2.900 rpm)
  • 可选择纵向或水平输送方向

适用于中性气体的 HM 系列版本:

  • AERZEN HM 系列可选 9 种结构尺寸,在 10^-5 mbar 的绝对真空压力条件下,适用的理论进气流量范围从 406 m³/h 到 15,570 m³/h。 产品优势一览:
  • 4 种不同电机变体,实现最佳选择
  • 机械强度较高(HM 系列高达 230 mbar),因而大幅缩短泵送时间
  • 耗水量、耗氮量低
  • 适用于净室环境应用
  • 借助变频器实现较大的控制范围,各项参数针对 AERZEN 密闭式电机鼓风机进行过调整,卓有成效
  • 可选择纵向或水平流动方向
结构形式
正排量风机
体积流量
406 止于 15.570 m3/h
介质
空气 , 中性气体 , 腐蚀性气体
输送
无油
Final vacuum
最大表压(单位:10^-5mbar

众多制造工艺经过较高的压力差优化,原因正是如此。

AERZEN 密闭式电机鼓风机大幅缩短泵送时间,从而提高了产量。 这是工艺优化的一大进步。

设计与结构

AERZEN 真空泵的壳体法兰之处配有 O 形圈密封件。 风机头还有真空密闭性和空气冷却等其他重要优势。 由溅油润滑装置提供润滑油。 矿物油和 PFPE 油都可以作为润滑剂,PFPE 油通常用于半导体技术。 密闭式电机鼓风机在输送室和轴承室配有专用的矩形圆环—迷宫—密封件。 另外还安装了一个配有冷凝通道的大尺寸中和室。 或者,中和室可以用密封气体冲洗,以实现更强的密封效果。 一体化密闭式电机可确保对驱动轴的密封。 因此无需连接大气的轴通道,从而可以从技术上实现明显更高的转速。

中性气体还是腐蚀性气体? AERZEN 针对二者都提供了适用的解决方案,并且结构尺寸也非常合理!

带有密闭式驱动装置的 AERZEN 鼓风机经过专门设计,可输送中性(HM 系列)和腐蚀性(CM 系列)气体,专用于工业高真空技术。 密闭式电机鼓风机始终结合前级泵使用*。 
此前级泵在大气压力条件下开始运行。 通常在大约 50 至 200 mbar 的条件下连接密闭式电机鼓风机,然后泵送流程启动。 根据应用的不同,可以使用液环泵、滑片式真空泵、螺杆真空泵或鼓风机作为前级泵。 配有 AERZEN 变频器并使用专用参数集时,前级泵也可以在大气压力条件下运行。

应用领域

  • 半导体行业
  • 微电子工业
  • 平面屏幕制造
  • 激光技术
  • 太阳能技术
  • 氦检漏装置
  • 化学工艺技术
  • 箔纸和玻璃喷漆
  • 熔炉制造
  • 氢的提取

*使用带有密闭式驱动装置的 AERZEN 真空鼓风机时,必须配备额外的前级泵(多级系统)。

信息与文档

  • Canned motor blower [G1-093]
    [Product Brochure
    AERZEN Headquarter]
  • 配有密闭式电机驱动装置的旋转式活塞真空泵 [G4-012]
    [操作说明]

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附件与解决方案