Two people on stage

带有预进气冷却装置的真空泵

正排量风机

真空专家: 带有预进气冷却装置的 AERZEN 鼓风机

为了实现预进气冷却,壳体在进气侧增加了一个插口(原有两个,现为三个)。 滑油供应由溅油润滑实现。 输送室由密封装置真空密封。 驱动轴由带有油栏的两个径向密封环密封。 流动方向为纵向,自上而下。 驱动可以通过直接耦合也可以通过窄 V 型皮带来实现(在限制压力差之下)。

应用 AERZEN mHV 系列鼓风机的特殊优势:

  • 全球规模最大的鼓风机系列,有 11 种结构尺寸可选
  • 在适用范围内,粗略真空可作为多级泵座的中间级,或者作为相对于大气压力的负压级亦适用
  • 压力差最高可达 800 mbar
  • 适用于较高的压缩比和 p1/p2 = 5 以内的粗略真空范围
  • 适于持续运行且不会造成过热问题
  • 明显降低压缩排气温度
  • 无需其他必要的阀门、控制器等
结构形式
正排量风机
体积流量
250 止于 61.000 m3/h
介质
空气 , 中性气体 , 腐蚀性气体
输送
无油
Final vacuum
最大表压(单位:10mbar
Pressure difference
最大表压(单位:10 - 300mbar

适用于所有应用的全能型天才。

带有密闭式驱动装置的 AERZEN 鼓风机经过专门设计,可输送中性(HM 系列)和腐蚀性(CM 系列)气体,专用于工业高真空技术。 密闭式电机鼓风机始终结合前级泵使用*。 
此前级泵在大气压力条件下开始运行。 通常在大约 50 至 200 mbar 的条件下连接密闭式电机鼓风机,然后泵送流程启动。 根据应用的不同,可以使用液环泵、滑片式真空泵、螺杆真空泵或鼓风机作为前级泵。 配有 AERZEN 变频器并使用专用参数集时,前级泵也可以在大气压力条件下运行。

应用领域

  • 半导体行业
  • 微电子工业
  • 平面屏幕制造
  • 激光技术
  • 太阳能技术
  • 氦检漏装置
  • 化学工艺技术
  • 箔纸和玻璃喷漆
  • 熔炉制造
  • 氢的提取

*使用带有密闭式驱动装置的 AERZEN 真空鼓风机时,必须配备额外的前级泵(多级系统)。

信息与文档

  • Positive Displacement Blowers: Vacuum with pre-inlet cooling [G1-096]
    [Product brochure
    AERZEN China]

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附件与解决方案