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帶有預進氣冷卻裝置的真空鼓風機

正排量鼓風機

真空專家: 帶有預進氣冷卻裝置的 AERZEN 鼓風機

為了實現預進氣冷卻,殼體在進氣側增加了一個插口(原有兩個,現為三個)。 潤滑油供應由濺油潤滑實現。 輸送室由密封系統真空密封。 驅動軸由帶有油欄的兩個徑向密封環密封。 流動方向為縱向,自上而下。 驅動可以為直接耦合也可以透過窄 V 型皮帶來實現(在限制壓力差之下)。

These blowers are useful in improving production processes in a wide variety of industries, including:

  • Chemical Process Technology
  • Evacuation of Hydrogen
  • Thin Film Foil and Glass Coating
  • Helium Leak Indication Units
  • Laser Technology
  • Manufacturing of Flat Screens Manufacturing of Melting Furnaces/ Metallurgy
  • Micro-Electronics Manufacturing
  • Semiconductor Instrument Manufacturing
  • Solar Technology 

應用 AERZEN mHV 系列鼓風機的特殊優勢:

  • 全球規模最大的鼓風機系列,有 11 種結構尺寸可選
  • 在粗略真空氣壓下,可作為多級泵組的中間級,或者在相對於大氣壓力的負壓條件下亦適用
  • 壓力差最高可達 800 mbar
  • 適用於較高的壓縮比和 p1/p2 = 5 以內的粗略真空範圍
  • 適於持續運作且不會造成過熱問題
  • 明顯降低壓縮排氣溫度
  • 無需其他必要的閥門、控制器等
結構形式
正排量鼓風機
體積流量
250 to 61.000 (单位:m3/h)
介質
空氣 , 中性氣體 , 腐蝕性氣體
輸送
無油式
Final vacuum
最大表壓10mbar
Pressure difference
最大表壓10 - 300mbar

適用於所有應用的全能型天才。

帶有密閉式驅動裝置的 AERZEN 鼓風機經過專門設計,可輸送中性(HM 系列)和腐蝕性(CM 系列)氣體,專用於工業高真空技術。 密閉式電機鼓風機始終結合前級泵使用*。 
此前級泵在大氣壓力條件下開始運作。 通常在大約 50 至 200 mbar 的條件下連接密閉式電機鼓風機,然後泵送流程啟動。 根據應用的不同,可以使用液環泵、滑片式真空泵、螺杆真空泵或鼓風機作為前級泵。 配有 AERZEN 變頻器並使用專用參數集時,前級泵也可以在大氣壓力條件下運作。

應用

  • 半導體產業
  • 微電子工業
  • 平面螢幕製造
  • 雷射技術
  • 太陽能技術
  • 氦檢漏設備
  • 化學工藝技術
  • 箔紙和玻璃噴漆
  • 熔爐製造
  • 氫的提取

*使用帶有密閉式驅動裝置的 AERZEN 真空鼓風機時,必須配備額外的前級泵(多級系統)。

備件與解決方案