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Sobrepressores de motor blindado

Sobrepressor de êmbolos rotativos

Sobrepressor de êmbolos rotativos para tecnologia industrial de vácuo elevado.

Os sobrepressores AERZEN com acionamento blindado foram concebidos para transporte de gases neutros (design HM) e agressivos (design CM) e são utilizados na tecnologia industrial de alto vácuo. Esta série caracteriza-se por níveis impressionantes de eficiência e de elevada fiabilidade.

Versão CM para gases agressivos:

  • A série CM da AERZEN, com um total de 14 tamanhos, abrange caudais de aspiração nominal teóricos de 110 m³/h a 15 340 m³/h e intervalos de pressão até 10^-5 mbar abs. Resumo das vantagens:
  • Certificação ATEX para zona 0 (interior)
  • Excelentes possibilidades de seleção por 4 diferentes variantes de motor
  • Elevada carga mecânica (até 150 mbar) e, logo, diminuição dos períodos de bombagem
  • Consumo reduzido de água, nitrogénio e óleo
  • Adequado para aplicação em condições de sala limpa
  • Grande intervalo de controlo através de variador de frequência de 1450 a 7400 rpm resp. de 1240 a 2900 rpm
  • Possibilidade de direção de transporte vertical e horizontal

Versão HM para gases neutros:

  • Com 9 tamanhos do tipo HM, a AERZEN abrange também caudais de aspiração nominal teóricos de 406 m³/h a 15 570 m³/h até um vácuo de 10^-5 mbar abs. Resumo das vantagens:
  • Excelentes possibilidades de seleção por 4 variantes de motor
  • Elevada força mecânica (até 230 mbar no caso do HM) e consequentemente redução dos tempos de bombagem
  • Baixo consumo de água e nitrogénio
  • Adequado para aplicação em condições de sala limpa
  • Elevado intervalo de controlo através de variador de frequência com parâmetros comprovados, ajustados para sobrepressores de motor blindado Aerzen
  • Possibilidade de fluxo com direção vertical e horizontal
Tipo de construção
Sobrepressor de êmbolos rotativos
Caudal
110 a 15.570 m3/h
Médio
ar , gases neutros , gases agressivos
Transporte
sem óleo
Final vacuum
Pressão manométrica máxima em 0 mbar
Pressure difference
Pressão manométrica máxima em 200 mbar

É por esse motivo que os processos de fabrico são otimizados por um delta p elevado.

Os sobrepressores de motor blindado AERZEN reduzem significativamente o tempo de bombagem, o que leva a um aumento do rendimento na produção. É um grande passo rumo ao processo de otimização.

Design e construção

Os sobrepressores em vácuo AERZEN são fornecidos com anilhas de vedação nos flanges do corpo. Outras importantes vantagens do bloco de sobrepressor são o facto de serem estanques ao vácuo e com refrigeração de ar. O óleo lubrificante é fornecido por lubrificação por imersão de óleo. Pode ser utilizado óleo mineral como lubrificante, bem como óleo PFPE, geralmente utilizado na tecnologia dos semicondutores. Os sobrepressores de motor blindado estão equipados com uma vedação retangular de eixo de pistão especial entre a câmara de transporte e a câmara de rolamentos. Além do mais, está instalada uma câmara neutra de grande dimensão com canais condensados. Opcionalmente, a câmara neutra pode ser purgada com gás de vedação, de modo a conseguir um maior efeito de vedação. Os motores blindados integrados garantem a vedação do veio de acionamento. Uma passagem do veio para a atmosfera pode assim ser omitida, tornando tecnicamente impossível conseguir velocidades de rotação significativamente superiores.

Gases neutros ou agressivos? A AERZENoferece soluções para ambos - bem como tamanhos adequados!

Os sobrepressores AERZEN com acionamento blindado foram concebidos para o transporte de gases neutros (versão HM) e agressivos (versão CM) e são utilizados especialmente na tecnologia industrial de alto vácuo. Os sobrepressores de motor blindado trabalham em combinação com uma bomba de reserva*. 
A bomba de reserva começa a funcionar à pressão atmosférica. O sobrepressor de motor blindado é geralmente ligado a aproximadamente 50 a 200 mbar e começa o processo de bombagem. Dependendo da aplicação, são utilizadas como bomba de reserva, bombas de anel líquido, bombas de vácuo com válvula de distribuição rotativa, bombas de vácuo de parafuso ou sobrepressores. Quando fornecido com variadores de frequência AERZEN e conjuntos com parâmetros especiais, também é possível o funcionamento da bomba de reserva a partir da pressão atmosférica.

Aplicações

  • Indústria de semicondutores
  • Microeletrónica
  • Produção de ecrãs planos
  • Tecnologia laser
  • Tecnologia solar
  • Unidades de indicação de fuga de hélio
  • Tecnologia de processo químico
  • Revestimento de película e vidro
  • Fabrico de fornos de fusão
  • Extração de hidrogénio

*É necessária uma bomba de reserva adicional (sistema com vários blocos) ao utilizar o sobrepressor em vácuo AERZEN com acionamento blindado.

Informação e documentos

  • Sobrepressores de motor blindado [G1-093]
    [Folheto de produto]
  • Êmbolo rotativo - bomba de vácuo - com motor blindado [G4-012]
    [Manual de instruções]

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