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Soffiatori Canned Motor

Soffiatore a lobi

Soffiatore a lobi per alto vuoto.

I soffiatori AERZEN con canned motor sono progettati per il trasporto di gas neutri (versione HM) e aggressivi (versione CM), e vengono utilizzati nella tecnologia dell'alto vuoto industriale. Questa serie è caratterizzata da un elevato livello di affidabilità ed efficienza.

Versione CM per gas aggressivi:

  • La serie AERZEN CM, copre portate nominali da 110 m³/h fino a 15.340 m³/h per un vuoto finale fino a 10^-5 mbar ass. Panoramica dei vantaggi:
  • Certificazione ATEX per la zona 0 (interna)
  • Possibilità di scelta tra 4 diverse varianti di motore
  • Elevato carico meccanico (fino a 150 mbar di P) con conseguente diminuzione dei tempi di svuotamento
  • Piccoli consumi di acqua, azoto e olio
  • Ideale per applicazioni in condizioni di camera bianca
  • Ampio range di regolazione della portata grazie all’inverter, a partire da 1.450 fino a 7.400 giri o da 1.240 a 2.900 giri
  • Direzione di trasporto verticale e orizzontale

Versione HM per i gas neutri:

  • Il modello AERZEN HM è in grado di coprire portate nominali da 406 m³/h a 15.570 m³/h per un vuoto finale fino a 10^-5 mbar ass. Panoramica dei vantaggi:
  • Possibilità di scelta ottimale di 4 diverse varianti di motore
  • L’elevata capacità di carico meccanico (fino a 230 mbar nel caso degli HM) riduce notevolmente i tempi di svuotamento
  • Bassi consumi di acqua e azoto
  • Adatti all'uso in condizioni di camera bianca
  • Ampio range di regolazione della portata grazie all’inverter, con parametri verificati, regolati sui soffiatori canned motor AERZEN
  • Possibilità di direzione del flusso verticale e orizzontale
Tecnologia
Soffiatore a lobi
Portata
406 - 15.570 m3/h
Mezzo aspirato
Aria , gas neutri , gas aggressivi
Funzionamento
oil-free
Final vacuum
10^-5 mbar pressione relativa
Pressure difference
10^-5 - 0 mbar pressione relativa

La ragione per cui i processi di produzione vengono ottimizzati da un elevato delta P.

I soffiatori AERZEN con canned motor riducono notevolmente i tempi di svuotamento, ottenendo così un aumento della capacità produttiva. Un grande passo verso l'ottimizzazione dei processi.

Progettazione e fabbricazione

I soffiatori per alto vuoto AERZEN sono provvisti di guarnizioni o-ring in corrispondenza delle flange del cilindro. Ulteriori importanti vantaggi dello stadio sono la perfetta tenuta in vuoto ed il raffreddamento ad aria. La lubrificazione è del tipo a sbattimento. Come lubrificanti è possibile utilizzare olio sintetico e olio PFPE, normalmente utilizzato nella tecnologia dei semiconduttori. I soffiatori con canned motor sono provvisti di una tenuta a labirinto con uno speciale anello tra la camera di compressione e le camere di lubrificazione. Inoltre, è installata una camera neutra con canali di dreno condensazione. Facoltativamente, per ottenere un aumento della tenuta, è possibile flussare la camera neutra con gas di tenuta. Il canned motor integrato assicura la tenuta dell’albero. In questo modo viene eliminato il contatto con l’atmosfera dell'albero, ed è tecnicamente possibile un aumento significativo del numero di giri.

Gas neutri o aggressivi? AERZEN offre entrambe le soluzioni nelle grandezze adatte!

I soffiatori AERZEN con canned motor sono progettati per l’aspirazione di gas neutri (versione HM) e aggressivi (versione CM), e vengono utilizzati in particolare nella tecnologia dell'alto vuoto industriale. I soffiatori canned motor operano sempre in combinazione con una pompa primaria di prevuoto*. 
La pompa primaria di prevuoto inizia ad operare in atmosfera. Il soffiatore canned motorè normalmente innescato a circa 50-200 mbar, momento in cui riesce a sviluppare la piena portata. A seconda dell'applicazione, come pompe di prevuoto vengono utilizzate pompe ad anello liquido, pompe per vuoto a palette ad olio, pompe per vuoto a vite. Se sono provviste di inverter AERZEN e set di parametri speciali, è possibile utilizzare il soffiatore canned motor già a partire dalla pressione atmosferica.

Applicazioni

  • Industria dei semiconduttori
  • Microelettronica
  • Produzione di schermi piatti
  • Tecnologia laser
  • Tecnologia solare
  • Indicatori di perdite di elio
  • Tecnologia chimica e di processo
  • Rivestimento di vetro e lamine
  • Costruzione di forni fusori
  • Evacuazione dell'idrogeno

*In caso di utilizzo di un soffiatore per vuoto AERZEN canned motor, è necessaria una pompa primaria di prevuoto aggiuntiva (sistema multi stadio).

Accessori & soluzioni