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Surpresseurs de moteurs cannés

Surpresseurs à pistons rotatifs

Surpresseur à pistons rotatifs pour la technologie industrielle du vide poussé.

Les surpresseurs AERZEN avec transmission cannée sont conçus pour le transport de gaz neutres (version HM) et agressifs (version CM) et sont surtout utilisés dans la technologie industrielle du vide poussé. Cette gamme se caractérise par une fiabilité et une efficacité énergétique hors du commun.

Version CM pour les gaz agressifs :

  • La gamme CM d’AERZEN, avec un total de 14 dimensions, couvre des débits de prise théoriques de 110 m³/h à 15 340 m³/h et des fourchettes de pression de 10^-5 mbar abs. Les avantages en un coup d’œil :
  • Certification ATEX pour la zone 0 (intérieur)
  • Possibilités de sélection optimales grâce à 4 variantes de moteur
  • Charge mécanique élevée (jusqu’à 150 mbar) et, par conséquent, réduction des temps d’arrêt de la pompe
  • Faible consommation d’eau, d’azote et d’huile
  • Convient à l’application dans des conditions de salle blanche
  • Grande fourchette de contrôle au moyen d’un convertisseur de fréquence de 1'450 à 7'400 rpm et de 1'240 à 2'900 rpm
  • Sens de transport vertical et horizontal possible

Version HM pour les gaz neutres :

  • Avec 9 dimensions de type HM, AERZEN couvre le débit de prise théorique de 406 m³/h à 15 570 m³/h, et jusqu’à un vide de 10^-5 mbar abs. Les avantages en un coup d’œil :
  • Des possibilités de sélection optimales grâce à 4 variantes de moteur
  • Force mécanique élevée (jusqu’à 230 mbar dans le cas de HM) et par conséquent réduction importante des durées d’arrêt de pompage.
  • Faible consommation d’eau et d’azote
  • Convient pour une application dans des conditions de salle blanche
  • Grande fourchette de contrôle grâce à un convertisseur de fréquences avec des paramètres avérés, réglés pour les surpresseurs à moteur canné d’AERZEN
  • Sens du débit vertical et horizontal possibles
Type de construction
Surpresseurs à pistons rotatifs
Débit
406 à 15.570 m3/h
Fluide à véhiculer
air , gaz neutres , gaz agressifs
Transport
exempt d'huile.
Final vacuum
10^-5 mbar

La raison pour laquelle les process de fabrication sont fortement optimisés grâce à un delta p élevé.

Les surpresseurs à moteur canné d’AERZEN réduisent de façon importante la durée d’arrêt de la pompe, ce qui conduit à une augmentation du ratio de production. C’est un grand pas vers l’optimisation des process.

Conception et fabrication

Les suppresseurs à vide d’AERZEN sont fournis avec des joints toriques en O sur les brides du boîtier. Les autres avantages principaux du surpresseur sont l’étanchéité du vide et le refroidissement à air. Approvisionnement en huile de lubrification par barbotage. De l’huile minérale peut être utilisée comme lubrifiant ainsi que de l’huile PFPE, généralement utilisée dans la technologie des semi-conducteurs. Les surpresseurs à moteur canné sont équipés d’un joint-labyrinthe à bague rectangulaire spécial entre la chambre de transport et la chambre du palier. Une grande chambre neutre avec des canaux de condensation est également installée. En option, la chambre neutre peut être purgée avec du gaz d’étanchéité, afin d’obtenir un meilleur effet d’étanchéité. Le moteur canné intégré garantit l’étanchéité de l’arbre de transmission. Un passage de l’arbre vers l’atmosphère peut donc être évité, ce qui rend possible l’obtention d’une vitesse de rotation bien plus élevée.

Gaz neutres ou agressifs ? Aerzen propose des solutions dans les deux cas, avec la dimension appropriée !

Les suppresseurs AERZEN avec transmission cannée sont conçus pour le transport de gaz neutres (version HM) et agressifs (version CM) et sont surtout utilisés dans la technologie industrielle du vide poussé. Les surpresseurs à moteur canné fonctionnent en association avec une pompe de secours*. 
Cette pompe de secours commence à fonctionner dans l’atmosphère. Le surpresseur à moteur canné est habituellement raccordé à environ 50 à 200 mbar et la procédure de pompage commence. En fonction de l’application, on utilise, des pompes à anneau liquide, des pompes vides à vanne rotative coulissante, des pompes vides à vis ou des surpresseurs comme pompe de secours. Lorsqu’elles sont fournies avec des convertisseurs de fréquence AERZEN et des sets de paramètres spéciaux, des pompes de secours démarrant avec la pression atmosphérique peuvent aussi être utilisées.

Applications

  • Industrie des semi-conducteurs
  • Micro-électronique
  • Production d’écrans plats
  • Technologie laser
  • Technologie solaire
  • Unités de détection de fuites d’hélium
  • Technologie de traitement chimique
  • Revêtement par feuille et verre
  • Fabrication de fours de fusion
  • Évacuation de l’azote

*Une pompe de secours supplémentaire (système en plusieurs étapes) est toujours nécessaire lorsque l’on utilise un surpresseur vide AERZEN avec transmission cannée.

Information & documents

  • Piston rotatif – Pompe à vide – avec transmission par moteur canné [G4-012]
    [Instructions de fonctionnement]
  • Surpresseurs de moteurs cannés [G1-093]
    [Brochure de produit
    AERZEN France]

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