AERZEN Gebläse mit Spaltrohrantrieb sind für die Förderung von neutralen Gasen (Ausführung HM) und aggressiven Gasen (Ausführung CM) konzipiert und werden in der industriellen Hochvakuumtechnik eingesetzt. Überzeugende Wirkungsgrade und hohe Zuverlässigkeit zeichnen diese Baureihe aus.
Die AERZEN CM-Baureihe deckt mit 14 Baugrößen theoretische Nennsaugvolumenströme von 110 m³/h bis 15.340 m³/h bis zu einem Vakuumbereich von 10^-5 mbar abs. ab. Die besonderen Vorteile:
Mit 9 Baugrößen des Typs HM deckt AERZEN den theoretischen Nennsaugvolumenstrom von 406 m³/h bis 15.570 m³/h auch bis zum Vakuum von 10^-5 mbar abs. ab. Die besonderen Vorteile:
Mit den AERZEN Spaltrohrgebläsen wird durch die signifikante Verringerung der Abpumpzeit eine Erhöhung des Ausbringungsgrades in der Fertigung erreicht. Dies ist ein großer Schritt zur Prozessoptimierung.
Die AERZEN Vakuumgebläse zeichnen sich durch O-Ring-Dichtungen an den Gehäuseflanschen, Vakuumdichtheit und Luftkühlung der Gebläsestufe aus. Die Schmierölversorgung erfolgt durch Tauchschmierung. Als Schmierstoff können Mineralöl oder auch das in der Halbleitertechnik übliche PFPE-Öl eingesetzt werden. Die Spaltrohrgebläse sind mit einer speziellen Rechteckring-Labyrinth-Abdichtung zwischen Förderraum und Lagerräumen ausgerüstet. Zusätzlich ist ein reichlich dimensionierter neutraler Raum mit Kondensatkanälen integriert. Optional lässt sich der neutrale Raum mit Sperrgas beaufschlagen, um eine erhöhte Sperrwirkung zu erzielen. Die Abdichtung der Antriebswelle erfolgt durch den integrierten Spaltrohrmotor, so dass eine Wellendurchführung zur Atmosphäre entfällt und dadurch erheblich höhere Drehzahlen technisch möglich sind.
Die AERZEN Gebläse mit Spaltrohrantrieb sind für die Förderung von neutralen (Ausführung HM) und aggressiven (Ausführung CM) Gasen konzipiert und finden spezielle Anwendung in der industriellen Hochvakuumtechnik. Spaltrohrgebläse arbeiten immer in Kombination mit einer Vorpumpe*. Diese Vorpumpe startet bei Atmosphäre und klassisch wird das Spaltrohrgebläse bei ca. 50 bis 200 mbar zugeschaltet und der Abpumpprozess beginnt. Als Vorpumpe kommen je nach Applikation Flüssigkeitsringpumpen, Drehschiebervakuumpumpen, Schraubenvakuumpumpen oder auch Gebläse zum Einsatz. Bei Lieferung mit AERZEN Frequenzumrichtern und speziellen Parametersätzen ist auch ein Betrieb mit der Vorpumpe ab Atmosphärendruck möglich.
*Bei Einsatz eines AERZEN Vakuumgebläses mit Spaltrohrantrieb ist immer eine zusätzliche Vorpumpe (Mehrstufensystem) erforderlich.
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