Two people on stage

Vždy připravené motorové dmýchadla

Objemové dmychadla

Objemové dmychadlo v průmyslové silně vakuové technologii.

AERZEN dmychadla s rezervním pohonem jsou určené pro přepravu neutrálních (HM design) a agresivních (CM design) plynů a jsou používány v průmyslové vysoce vakuové technologii. Tato řada se vyznačuje impozantní úrovní účinnosti a vysoké spolehlivosti.

CM verze pro agresivní plyny:

  • Série AERZEN CM, s celkem 14 velikostmi se vztahuje na teoretický objem příjmu proudění z 110 m³ / h do 15,340 m³ / h a tlak se pohybuje v rozmezí až do 10 ^ -5 mbar abs. Výhody na první pohled:
  • ATEX certifikace pro zónu 0 (interní)
  • Optimální možnosti výběru podle 4 různých motorových variant
  • Vysoké mechanické zatížení (až do 150 mbar), a proto snížení času odčerpáváním
  • Pouze malé spotřeby vody, dusíku a oleje
  • Vhodné pro použití v podmínkách čistých prostor
  • Velký rozsah regulace pomocí frekvenčního měniče od 1.450 do 7.400 otáček za minutu, resp. od 1.240 do 2.900 otáček za minutu
  • Možný svislým a vodorovný dopravní směr

CM verze pro agresivní plyny:

  • S 9 velikostmi typu HM, AERZEN zahrnuje i teoretický objemový příjmový tok od 406 m³ / h do 15.570 m³ / h až do vakua 10 ^ -5 mbar abs. Výhody na první pohled:
  • Optimální možnosti výběru podle 4 různých motorových variant
  • Vysoká mechanická pevnost (až do 230 mbar v případě HM) v důsledku výrazného snížení čerpání dolů
  • Nedostatek vody, spotřeba dusíku
  • Vhodné pro použití v podmínkách čistých prostor
  • Velký rozsah regulace pomocí frekvenčního měniče s ověřenými parametry nastavenými na Aerzen hermeticky uzavřené motorové dmychadlo.
  • Vertikální i horizontální směr možného průtoku
Druh stavby
Objemové dmychadla
Objemový průtok
406 do 15.570 m3/h
Střední
vzduch , neutrální plyny , agresivní plyny
Dopravníky
bezolejový
Final vacuum
přetlak 10^-5 mbar
Pressure difference
přetlak 10^-5 - 0 mbar

Důvodem proč jsou výrobní procesy optimalizovány horním delta p.

AERZEN hermeticky uzavřené motorové dmychadla redukují proces odčerpání, který vede ke zvýšení poměru výkonu ve výrobě. To je velký krok směrem k optimalizaci procesů.

Design a konstrukce.

AERZEN vakuové dmychadla jsou vybaveny O-kroužky při obalových přírubách. Další důležité výhody dmychadlové konstrukci jsou vakuová těsnost a chlazení vzduchem. Mazací olej je zásobován ponorným mazáním. Minerální olej může být použit jako mazadlo, stejně jako oleje PFPE, obecně používané v polovodičové technice. Hermeticky uzavřené motorové dmychadla jsou vybaveny speciálním obdélníkovým kruhovým labyrintovým těsněním mezi dopravní komorou a ložiskovou komorou. Kromě toho je nainstalována bohatě dimenzovaná neutrální komora s kondenzátovými kanály. Volitelně, může být neutrální komora propláchnuta zapečetěným plynem, za účelem dosažení lepšího těsnicího účinku. Integrovaný zapouzdřený motor zajišťuje těsnost hnacího hřídele. Hřídelový průchod do atmosféry může být proto vynechán, takže je technicky možné dosáhnout podstatně vyšší rychlosti otáčení.

Neutrální nebo agresivní plyny? Aerzen nabízí řešení pro obě strany - stejně jako vhodnou velikost!

AERZEN dmychadla s rezervním pohonem jsou určeny pro přepravu neutrálních (HM verze) a agresivních (cm verze) plynů a používají se především v průmyslové vysokovakuové technice. Hermeticky uzavřené motorové dmychadla vždy pracují v kombinaci s opěrným čerpadlem 
Toto opěrné čerpadlo začíná pracovat v atmosféře. Hermeticky uzavřené motorové dmychadlo je připojeno typicky při cca. 50 až 200 kPa a proces pumpování začíná. V závislosti na aplikaci, tekuté prstenové čerpadla, posuvné křídlové rotační vývěvy, šroubové vakuové čerpadla nebo dmychadla se používají jako opěrné čerpadlo. Pokud jsou předány Aerzen frekvenční měniče a speciální sady parametrů, je také možný provoz s opěrným čerpadlem počínaje od atmosférického tlaku.

Použití

  • Polovodičový průmysl
  • Mikroelektronika
  • Výroba plochých obrazovek
  • Laserová technologie
  • Solární technologie
  • Signalizační jednotky úniku hélia
  • Technologie chemického procesu
  • Fóliové a skleněné pokrytí
  • Výroba tavicích pecí
  • Evakuace z vodíku

* Navíc opěrné čerpadlo (vícestupňový systém) je vždy požadované při použití AERZEN vakuového dmychadla s rezervním pohonem.

Příslušenství a řešení