Two people on stage

Tokozott motorfúvók

Térfogat kiszorításos fúvók

Térfogat kiszorításos fúvó ipari „high” vákuum-technológiához.

Az AERZEN tokozott motoros fúvói semleges (HM-kivitel) és agresszív (CM-kivitel) gázok szállítására, valamint ipari „high”-vákuumtechnológiában használatosak. Ezt a sorozatot nagy hatékonyság, és kiemelt megbízhatóság jellemzi.

CM változat agresszív gázokhoz:

  • Az AERZEN CM sorozat összesen 14 méretben, elméleti bemeneti térfogatáram 110 m3/h - 15 340 m3/h között, nyomás 10^-5 mbar abs. értékig. Az azonnal látható előnyök:
  • ATEX-tanúsítvány a 0. (belső) zónára
  • Optimális választási lehetőség 4 motorváltozattal
  • Nagy mechanikai terhelés (akár 150 mbar-ig), ezért csökken a szivattyúzási időket
  • Csak kevés vizet, nitrogént és olajat fogyaszt
  • Tiszta helyiségben is üzemeltethető
  • Frekvenciaváltóval vezérelt fordulatszám-tartomány: 1450 - 7 400/perc, illetve 1240 - 2900.900/perc között
  • Függőleges és vízszintes szállítási irány lehetséges

HM változat semleges gázokra:

  • Az AERZEN HM sorozat 9 méretben, elméleti bemeneti térfogatáramok 406 m3/h - 15 570 m3/h között, és 10^-5 mbar abs. vákuum értékig. Az azonnal látható előnyök:
  • Optimális választási lehetőségek 4 motorváltozattal
  • Nagy mechanikai erő (akár 230 mbar-ig a HM esetében), ezért jelentősen csökkenti a szivattyúzási időket
  • Kevés vizet és nitrogént fogyaszt
  • Tiszta helyiségben is üzemeltethető
  • Frekvenciaváltóval vezérelt nagy szabályzási tartomány, igazolt paraméterekkel, amelyek az AERZEN tokozott motoros fúvóira vannak hangolva
  • Függőleges és vízszintes áramlási irány lehetséges
Konstrukció típusa
Térfogat kiszorításos fúvók
Térfogatáram
406 meddig 15.570 m3/h
Közeg
levegő , Semleges gázok , agresszív gázok
Szállítás
olajmentes
Final vacuum
10^-5 mbar mért nyomás
Pressure difference
10^-5 - 0 mbar mért nyomás

Annak oka, amiért a gyártási folyamatokat magas delta p optimalizálja.

Az AERZEN tokozott motoros fúvói jelentősen csökkentik a leszívási időt, ami a termelés kibocsátási arányának növekedéséhez vezet. Ez egy nagy lépés a folyamat-optimalizálás felé.

Tervezés és szerkezeti kialakítás

Az AERZEN vákuumfúvók O-gyűrűkkel vannak szerelve a ház peremeinél. A fúvófokozatok további fontos előnyei a vákuumtömörség és léghűtés. A kenés szóróolajzással történik. A kenőolaj lehet ásványolaj vagy PFPE olaj, amelyet általában a félvezető-technológiában használnak. A tokozott motoros fúvók a szállító tér és a csapágyház közötti speciális, négyszög keresztmetszetű labirint gyűrűstömítéssel készülnek. Továbbá egy túlméretezett ún. semleges kamrát alakítottak ki kondenzátum elvezető csatornákkal. Opcióként a semleges (neutral) tér a minél jobb tömítő hatás érdekében gázzal tölthető fel. Az integrált tokozott motorlehetővé teszi a meghajtó tengely tömítését. Ezzel elkerülhető, hogy a tengely érintkezzen a külső légtérrel, ami technikailag lehetővé teszi a motor nagyobb fordulatszámát.

Semleges vagy agresszív gázok? Az AERZEN megoldásokat kínál mindkettőre, és a megfelelő méretre is!

Az AERZEN tokozott motoros fúvóit semleges (HM) és agresszív (CM változat) gázok szállítására terveztük, és főként az ipari erősvákuum-technológiában használatosak. A tokozott motoros fúvókat mindig elővákuum-szivattyúval* együtt alkalmazzák. 
Az elővákuum-szivattyú légköri nyomáson kezd működni. A tokozott motoros fúvó jellemzően kb. 50 - 200 mbar nyomáson kezd működni, ahol a szivattyúzási folyamat elindul. Az alkalmazástól függően elővákuum-szivattyúként folyadékgyűrűs szivattyút, csúszólapátos vákuumszivattyút, csavar vákuumszivattyút vagy fúvót lehet használni. Ha a tokozott motoros fúvót AERZEN frekvenciaváltóval és speciális paraméterkészlettel szállítjuk, akkor az elővákuum-szivattyúval együtt, légköri nyomáson is kezdhet működni.

Alkalmazások

  • Félvezetőipar
  • Mikroelektronika
  • Lapos képernyők gyártása
  • Lézertechnológia
  • Szolártechnológia
  • Héliumszivárgást detektáló egységek
  • Vegyi folyamattechnológia
  • Fólia és üvegbevonatok
  • Olvasztókemencék építése
  • Hidrogén kivonása

*Ha AERZEN tokozott motoros vákuumfúvót használ, azt mindig kiegészítő elővákuum-szivattyúval együtt (többfokozatú rendszer) kell alkalmaznia.

Tartozékok & megoldások