Two people on stage

Blåsere med kapslede motorer

lobeblåsere

Positiv fortrengning blåser for industriell høyvakuumteknologi.

AERZEN-blåsere med kapslet drift er designet for transport av nøytrale (HM-design) og aggressive (CM-design) gasser og brukes i industriell høyvakuumteknologi. Denne serien er karakterisert av imponerende effektivitet og høy pålitelighet.

CM-versjon for aggressive gasser:

  • AERZEN CM-serien, med totalt 14 størrelser, dekker teoretiske inntaksvolum fra 110 m³/t til 15 340 m³/t og trykkområder opp til 10 ^ -5 mbar abs. Fordelene:
  • ATEX-sertifisering for sone 0 (intern)
  • Optimale valgmuligheter med 4 forskjellige motorvarianter
  • Høy mekanisk belastning (opp til 150 mbar), og dermed reduksjon av pumpens driftsstansperioder
  • Kun lite forbruk av vann, nitrogen og olje
  • Passer for applikasjoner i renrom
  • Stort reguleringsområde ved hjelp av frekvensomformer fra 1 450 til 7 400 rpm hhv. 1240 til 2900 opm
  • Vertikale og horisontale transportretningen mulig

HM-versjon for nøytrale gasser:

  • Med 9 størrelser av typen HM, dekker AERZEN også teoretiske inntaksvolumstrømmen fra 406 m³/t til 15 570 m³/t opp til et vakuum på 10 ^ -5 mbar abs. Fordelene:
  • Optimale valgmuligheter med 4 motorvarianter
  • Høy mekanisk styrke (opptil 230 mbar for HM) og følgelig betydelig reduksjon av pumpe-nedetider
  • Lavt vann- og nitrogenforbruk
  • Passer for applikasjoner i renrom
  • Stort reguleringsområde ved hjelp av frekvensomformer med erfaringsmessige parametere innstilt i AERZEN kapslede motorblåsere
  • Vertikal og horisontal strømningsretning mulig
Konstruksjonstype
lobeblåsere
Volumstrømming
406 til 15.570 m3/h
Medium
luft , nøytral gasser , aggressive gasser
Transport
oljefri
Final vacuum
10^-5 mbar måletrykk

Grunnen er at produksjonsprosessen er optimalisert ved en høyt delta-p.

AERZEN kapslede motorblåsere redusere nedetiden på pumpene, noe som fører til en økning i produksjonsgraden. Dette er et stort skritt mot prosessoptimalisering.

Design og konstruksjon

AERZEN vakuumblåsere er utstyrt med o-ringpakninger i sideplatene. Ytterligere viktige fordeler med blåserenheten er vakuumtetthet og luftkjøling. Smøreolje er av typen plaskesmøring. Mineralolje kan brukes som smøremiddel, samt PFPE-olje, ofte brukt i halvlederteknologi. De kapslede motorblåserne er utstyrt med en spesiell rektangulær ring-labyrint-tetning mellom transportkammeret og lagerkammeret. I tillegg er det installert et rikelig dimensjonert nøytral kammer med kondensatkanaler. Eventuelt kan det nøytrale kammeret spyles med pakningsgass, for å oppnå en økt tetningsvirkning. Den integrerte kapslede motoren sikrer tetning av drivakselen. En akselpassasje til atmosfæren kan derfor utelates, slik at det er teknisk mulig å oppnå vesentlig høyere rotasjonshastigheter.

Nøytrale eller aggressive gasser? AERZEN tilbyr løsninger for begge i riktig størrelse!

AERZEN-blåsere med Kapslet drift er designet for transport av nøytrale (HM-versjon) og aggressive (CM-versjon) gasser og blir særlig brukt i industriell høyvakuumteknologi. Kapslede motorblåsere fungerer alltid i kombinasjon med en støttepumpe*. 
Denne støttepumpen starter ved atmosfærisk trykk. Kapslede motorblåser kobles vanligvis inn ved ca. 50 til 200 mbar og nedpumpingsprosessen begynner. Avhengig av programmet benyttes væske-ringpumper, lamellvakuumpumper, skruevakuumpumper eller blåsere brukes som støttepumper. Når systemet er levert med AERZEN frekvensomformere og spesielle parametersett, er det også mulig å drifte støttepumpen fra atmosfærisk trykk.

Applikasjoner

  • Halvlederindustrien
  • Mikroelektronikk
  • Produksjon av flatskjermer
  • Laserteknologi
  • Solarteknologi
  • Lekkasjeindikeringsenheter for helium
  • Kjemisk prosessteknologi
  • Folie og glassbelegning
  • Produksjon av smelteovner
  • Fjerning av hydrogen

* En ekstra støttepumpe (flertrinnssystem) er alltid nødvendig når du bruker en AERZEN vakuumblåser med hermetisert stasjon.

Tilbehør & løsninger