Two people on stage

Герметичные воздуходувки

Воздуходувки нагнетательного действия

Воздуходувка нагнетательного действия для промышленной техники высокого вакуума.

Воздуходувки AERZEN с герметичным приводом предназначены для перекачки инертных (версия HM) и агрессивных (версия CM) газов. Они используются в промышленной технике высокого вакуума. Оборудование этой серии отличается высокой надежностью и эффективностью.

Версия CM для агрессивных газов:

  • Воздуходувки AERZEN серии CM 14 типоразмеров покрывают диапазон теоретического объема всасываемого потока от 110 м³/ч до 15'340 м³/ч и диапазон давления до 10^-5 мбар абс. Обзор преимуществ:
  • Сертификация ATEX для зоны 0 (внутренняя)
  • Возможность выбора оптимального агрегата благодаря 4 разным вариантам двигателя
  • Высокая механическая нагрузочная способность (до 150 мбар) с сокращением времени откачки
  • Низкое потребление воды, азота, масла
  • Подходят для применения в условиях чистого помещения
  • Широкий диапазон регулирования от 1450 до 7400 об/мин или от 1240 до 2900 об/мин благодаря преобразователю частоты
  • Возможность выбора вертикального или горизонтального направления перекачки

Версия HM для инертных газов:

  • Воздуходувки AERZEN серии HM 9 типоразмеров покрывают диапазон теоретического объема всасываемого потока от 406 м³/ч до 15'570 м³/ч и диапазон давления до 10^-5 мбар абс. Обзор преимуществ:
  • Возможность выбора оптимального агрегата благодаря 4 вариантам двигателя
  • Высокая механическая нагрузочная способность (до 230 мбар для серии HM) со значительным сокращением времени откачки
  • Низкое потребление воды и азота
  • Подходят для применения в условиях чистого помещения
  • Широкий диапазон регулирования благодаря преобразователю частоты, настроенному для герметичных воздуходувок AERZEN
  • Возможность выбора вертикального или горизонтального направления потока
Тип конструкции
Воздуходувки нагнетательного действия
Объемный расход
110 до 15.570 м3
Среда
воздух , инертные газы , агрессивные газы
Транспортировка
безмасляный
Final vacuum
Макс. давление 0 мбар изб.
Pressure difference
Макс. давление 200 мбар изб.

Причина оптимизации производственных процессов с учетом высокой разницы давлений.

Герметичные воздуходувки AERZEN значительно уменьшают время откачки, что повышает производительность. Это большой шаг на пути к оптимизации процессов.

Исполнение и конструкция

Вакуумные воздуходувки AERZEN оснащены уплотнительными кольцами фланцев корпуса. Дополнительными важными преимуществами ступени воздуходувки являются герметичность и воздушное охлаждение. Смазочное масло подается разбрызгиванием. Для смазки может использоваться минеральное масло, а также перфторполиэфир (PFPE), который чаще всего применяется для полупроводниковой техники. Герметичные воздуходувки оснащаются специальным лабиринтным уплотнением с прямоугольным кольцом между нагнетательной камерой и камерой подшипников. Кроме того, воздуходувка оснащена большой нейтральной камерой с каналами для конденсата. Для усиления эффективности уплотнения нейтральную камеру можно продуть уплотнительным газом. Интегрированный герметичный двигатель обеспечивает уплотнение приводного вала. Поэтому канал вала для выпуска в атмосферу можно не использовать, что позволяет достигать значительно более высокой частоты вращения.

Инертные или агрессивные газы? AERZEN предлагает решения для обоих вариантов с возможностью выбора требуемого типоразмера.

Воздуходувки AERZEN с герметичным приводом предназначены для перекачки инертных (версия HM) и агрессивных (версия CM) газов. Они широко используются в промышленной технике высокого вакуума. Герметичные воздуходувки всегда используются вместе с насосом предварительного разрежения*. 
Этот насос предварительного разрежения начинает работать при атмосферном давлении. Герметичная воздуходувка обычно начинает откачку при давлении около 50–200 мбар. В зависимости от применения в качестве насоса предварительного разрежения могут использоваться жидкостные кольцевые насосы, ротационные вакуумные насосы, винтовые вакуумные насосы, воздуходувки. При оснащении преобразователем частоты AERZEN со специальными установленными параметрами возможна эксплуатация с запуском насоса предварительного разрежения при атмосферном давлении.

Области применения

  • Полупроводниковая промышленность
  • Микроэлектроника
  • Производство плоских экранов
  • Лазерное оборудование
  • Оборудование для солнечной энергетики
  • Системы обнаружения утечек гелия
  • Химические технологии и технологии производства
  • Нанесение пленок и стекловидных покрытий
  • Производство плавильных печей
  • Извлечение водорода

*При использовании вакуумной воздуходувки AERZEN с герметичным приводом необходим дополнительный насос предварительного разрежения (многоступенчатая система).

Принадлежности и решения