Two people on stage

ВАКУУМНЫЕ ВОЗДУХОДУВКИ с предварительным охлаждением на входе

Воздуходувки нагнетательного действия

Специалисты в области вакуумной техники: воздуходувки AERZEN с предварительным охлаждением на входе

Для предварительного охлаждения на входе в корпусе имеется дополнительное третье отверстие на стороне всасывания. Смазочное масло подается разбрызгиванием. Нагнетательная камера герметизирована системой уплотнения. Уплотнение ведущего вала осуществляется двойными радиальными уплотнительными кольцами с масляным барьером. Направление потока проходит вертикально сверху вниз. Привод осуществляется с использованием прямого соединения или узкого клинового ремня (при ограниченном дифференциальном давлении).

Преимущества применения воздуходувок AERZEN mHV:

  • Серия с наибольшим числом моделей, доступных в 11 типоразмерах
  • Используются в диапазонах низкого вакуума в качестве промежуточной ступени многоступенчатых насосов, а также применимы в качестве ступени разрежения относительно атмосферного давления
  • Допустимое дифференциальное давление до 800 мбар
  • Подходят для достижения высокой степени сжатия в диапазоне низкого вакуума до p1/p2 = 5
  • Подходят для непрерывной работы без перегрева
  • Значительное снижение температуры нагнетания при сжатии
  • Отсутствие необходимости в дополнительных клапанах, контроллерах и т. д.
Тип конструкции
Воздуходувки нагнетательного действия
Объемный расход
250 до 61.000 м3
Среда
воздух , инертные газы , агрессивные газы
Транспортировка
безмасляный
Final vacuum
Макс. давление 10 мбар изб.
Pressure difference
Макс. давление 10 - 300 мбар изб.

Универсальное решение для любых применений.

Воздуходувки AERZEN с герметичным приводом предназначены для перекачки инертных (версия HM) и агрессивных (версия CM) газов. Они широко используются в промышленной технике высокого вакуума. Герметичные воздуходувки всегда используются вместе с насосом предварительного разрежения*. 
Этот насос предварительного разрежения начинает работать при атмосферном давлении. Герметичная воздуходувка обычно начинает откачку при давлении около 50–200 мбар. В зависимости от применения в качестве насоса предварительного разрежения могут использоваться жидкостные кольцевые насосы, ротационные вакуумные насосы, винтовые вакуумные насосы, воздуходувки. При оснащении преобразователем частоты AERZEN со специальными установленными параметрами возможна эксплуатация с запуском насоса предварительного разрежения при атмосферном давлении.

Области применения

  • Полупроводниковая промышленность
  • Микроэлектроника
  • Производство плоских экранов
  • Лазерное оборудование
  • Оборудование для солнечной энергетики
  • Системы обнаружения утечек гелия
  • Химические технологии и технологии производства
  • Нанесение пленок и стекловидных покрытий
  • Производство плавильных печей
  • Извлечение водорода

*При использовании вакуумной воздуходувки AERZEN с герметичным приводом необходим дополнительный насос предварительного разрежения (многоступенчатая система).

Принадлежности и решения