Two people on stage

Blåsmaskiner med inbyggd motor

Vridkolvsblåsmaskiner

Vridkolvsblåsmaskin för industriell högvakuumteknik.

AERZENs blåsmaskiner med kapslad motordrift är utformade för transport av neutrala (HM-version) och aggressiva (CM-version) gaser och används inom industriell högvakuumteknik. Denna serie kännetecknas av imponerande effektivitetsnivåer och hög tillförlitlighet.

CM-version för aggressiva gaser:

  • AERZENs CM-serie, med totalt 14 storlekar, täcker teoretiska insugningsvolymflöden från 110 m³/h till 15 340 m³/h och tryckdifferens ned till 10^-5 mbar abs. Fördelarna i korthet:
  • ATEX-certifiering för zon 0 (internt)
  • Optimala valmöjligheter tack vare 4 olika typer av motorer
  • Hög mekanisk belastning (upp till 150 mbar) och därför minskade driftstopp -
  • Endast liten förbrukning av vatten, kväve och olja
  • Lämplig för applikationer i renrumsförhållanden
  • Stort varvtalsområde med hjälp av frekvensomriktare från 1 450 till 7 400 varv/min resp. från 1 240 till 2 900 varv/min
  • Vertikal och horisontell transportriktning är möjlig

HM-version för neutrala gaser:

  • Med 9 storlekar av typ HM, täcker AERZEN även teoretiska insugningsvolymflöden från 406 m³/h till 15 570 m³/h ned till ett vakuum på 10^-5 mbar abs. Fördelarna i korthet:
  • Optimala valmöjligheter tack vare 4 olika typer av motorer
  • Hög mekanisk styrka (upp till 230 mbar för HM) och följaktligen avsevärda minskningar av driftstopp
  • Låg förbrukning av vatten och kväve
  • Lämplig för applikationer i renrumsförhållanden
  • Stort varvtalsområde via frekvensomriktare med beprövade parametrar – avstämda mot Aerzens blåsmaskiner med inbyggd motor
  • Vertikal och horisontell transportriktning är möjlig
Konstruktionstyp
Vridkolvsblåsmaskiner
Volymflöde
406 till 15.570 m3/h
Medium
luft , neutrala gaser , aggressiva gaser
Överföring
oljefri
Final vacuum
10^-5 mbar manometertryck

Orsaker varför tillverkningsprocesser är optimerade är ett högt delta p.

AERZENs blåsmaskiner med kapslad motordrift minskar pumpars stilleståndstider väsentligt, vilket leder till en ökning av tillgänglighet i produktionen. Detta är ett stort steg mot processoptimering.

Design och konstruktion

AERZENs vakuumblåsmaskiner tillhandahålls med O-ringstätningar mellan hus och kåpor. Andra viktiga fördelar med blåsmaskinssteget är vakuumtäthet och luftkylning. Smörjning sker genom oljestänksmörjning. Mineralolja kan användas som smörjmedel, samt PFPE-oljan, som vanligtvis används i halvledarindustrin. Blåsmaskinerna med kapslade motordrifter är utrustade med en speciell rektangulär ringlabyrinttätning mellan transportcylindern och lagerkammaren. Dessutom är ett överdimensionerat neutralt rum med kondenskanaler installerad. Alternativt kan det neutrala rummet förses med spärrgas för att uppnå en ökad tätningseffekt. Den kapslade motordriften säkerställer tätning av drivaxeln. Det är ingen axelgenomföring till atmosfär, vilket gör det tekniskt möjligt att uppnå väsentligt högre rotationsvarvtal.

Neutrala eller aggressiva gaser? Aerzen erbjuder lösningar för båda – samt rätt storlek!

AERZENs blåsmaskiner med inbyggd motor är utformade för transport av neutrala (HM-version) och aggressiva (CM-version) gaser och används främst inom industriell högvakuumteknik. Blåsmaskiner med inbyggd motor fungerar alltid i kombination med en förpump*. 
Denna förpump startar vid ett atmosfärstryck på 1 000 mbar. Blåsmaskinen med kapslad motordrift kopplas till vid ungefär 50 till 200 mbar och nedpumpningsprocessen startar. Beroende på applikationen, används följande som förpumpar: vätskeringpumpar, lamellvakuumpumpar, skruvvakuumpumpar eller blåsmaskiner. Driften med förpumpen kan även startas från atmosfärstryck, om den är utrustad med AERZENs frekvensomriktare och specialparametrering.

Applikationer

  • Halvledarindustrin
  • Mikroelektronik
  • Produktion av plattskärmar
  • Laserteknik
  • Solenergiteknik
  • Indikeringsenheter för heliumläckage
  • Kemisk processteknik
  • Folie- och glasbeläggning
  • Tillverkning av smältugnar
  • Evakuering av väte

*En ytterligare förpump (flerstegssystem) krävs alltid vid användning av en vakuumblåsmaskin med inbyggd drivanordning från AERZEN.

Tillbehör och lösningar